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1. (WO2017189221) RÉACTEUR À PLASMA À ÉLECTRODES DIVISÉES

Pub. No.:    WO/2017/189221    International Application No.:    PCT/US2017/026986
Publication Date: Fri Nov 03 00:59:59 CET 2017 International Filing Date: Wed Apr 12 01:59:59 CEST 2017
IPC: C23C 14/35
C23F 1/00
H01J 37/32
Applicants: RETRO-SEMI TECHNOLOGIES, LLC
Inventors: KIM, Dong-Soo
JOO, Min-Su
Title: RÉACTEUR À PLASMA À ÉLECTRODES DIVISÉES
Abstract:
L'invention concerne un réacteur à plasma destiné à générer un plasma destiné à être utilisé dans le dépôt d'un film mince sur une tranche de grande surface, par exemple pour la fabrication de cellules solaires. Une unité électrode à plasma dans le réacteur à plasma est divisée en une pluralité d'électrodes distinctes, et une puissance électrique RF est appliquée de manière séquentielle aux électrodes à plasma divisées conformément à un angle de phase détecté par une unité de commande de phase. L'application séquentielle de puissance RF haute fréquence à travers l'unité électrode à plasma divisée résout un problème d'onde stationnaire dans le plasma appliqué sur une grande surface correspondant à une tranche de grande surface.