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1. (WO2017188612) SYSTÈME ET PROCÉDÉ D'ÉLIMINATION DE SUBSTANCES ÉTRANGÈRES À L'AIDE D'UN PROCÉDÉ D'ADSORPTION DE CHAMP ÉLECTRIQUE

Pub. No.:    WO/2017/188612    International Application No.:    PCT/KR2017/003349
Publication Date: 2 nov. 2017 International Filing Date: 28 mars 2017
IPC: H01L 21/465
H01L 21/02
H01L 21/306
H01L 21/67
Applicants: LG CHEM, LTD.
주식회사 엘지화학
Inventors: SHIN, Dongmyung
신동명
CHUN, Sang Ki
전상기
LEE, Bum Woo
이범우
Title: SYSTÈME ET PROCÉDÉ D'ÉLIMINATION DE SUBSTANCES ÉTRANGÈRES À L'AIDE D'UN PROCÉDÉ D'ADSORPTION DE CHAMP ÉLECTRIQUE
Abstract:
La présente invention concerne un système et un procédé d'élimination de substances étrangères à l'aide d'un procédé d'adsorption de champ électrique qui permet d'adsorber et d'éliminer facilement des substances étrangères sur la surface d'un film par utilisation d'un procédé d'adsorption de champ électrique par l'intermédiaire d'un procédé d'attaque de tension de micro-courant (plusieurs micro-ampères), plutôt que d'utiliser un traitement de surface qui endommage la surface du film, tel qu'un traitement par décharge plasma, un traitement par décharge à effet couronne et un traitement par soufflage d'air dans un processus de traitement de façon à éliminer des substances étrangères sur la surface du film afin de réduire un taux d'accidents liés à la sécurité d'un travailleur en excluant, en particulier, un traitement par décharge haute tension ou autre, et d'empêcher que des rayures n'apparaissent sur la surface du film.