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1. (WO2017188117) FILM DE CONVERSION D'INTENSITÉ DE FAISCEAU, ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE FILM DE CONVERSION D'INTENSITÉ DE FAISCEAU
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N° de publication :    WO/2017/188117    N° de la demande internationale :    PCT/JP2017/015890
Date de publication : 02.11.2017 Date de dépôt international : 20.04.2017
CIB :
G21K 3/00 (2006.01)
Déposants : KANEKA CORPORATION [JP/JP]; 3-18, Nakanoshima 2-chome, Kita-ku, Osaka-shi, Osaka 5308288 (JP)
Inventeurs : MURAKAMI, Mutsuaki; (JP).
TATAMI, Atsushi; (JP).
TACHIBANA, Masamitsu; (JP)
Mandataire : HARAKENZO WORLD PATENT & TRADEMARK; Daiwa Minamimorimachi Building, 2-6, Tenjinbashi 2-chome Kita, Kita-ku, Osaka-shi, Osaka 5300041 (JP)
Données relatives à la priorité :
2016-090934 28.04.2016 JP
Titre (EN) BEAM INTENSITY CONVERTING FILM, AND METHOD OF MANUFACTURING BEAM INTENSITY CONVERTING FILM
(FR) FILM DE CONVERSION D'INTENSITÉ DE FAISCEAU, ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE FILM DE CONVERSION D'INTENSITÉ DE FAISCEAU
(JA) ビーム強度変換膜、及びビーム強度変換膜の製造方法
Abrégé : front page image
(EN)The objective of the present invention is to achieve a beam intensity converting film which has adequate shielding properties, durability and heat resistance, and which is capable of reducing the degree of activation. An attenuator (1) is formed from a graphite film disposed in such a way that the film surface intersects a beam axis of a charged particle beam (X), wherein the thickness of the graphite film is at least equal to 1 µm, and the thermal conductivity of the graphite film in the film surface direction is at least equal to 20 times the thermal conductivity thereof in the film thickness direction.
(FR)L'objectif de la présente invention est d'obtenir un film de conversion d'intensité de faisceau qui a des propriétés de blocage, de durabilité et de résistance thermique adéquates, et qui est apte à réduire le degré d'activation. À cet effet, un atténuateur (1) est formé d'un film de graphite disposé d'une manière telle que la surface du film croise un axe de faisceau d'un faisceau de particules chargées (X), l'épaisseur du film de graphite étant au moins égale à 1 µm, et la conductivité thermique du film de graphite dans la direction de surface du film étant au moins égale à 20 fois sa conductivité thermique dans la direction d'épaisseur du film.
(JA)十分な遮蔽性、耐久性、耐熱性を有し、放射化の程度を小さくし得るビーム強度変換膜を実現する。アッテネータ(1)は、膜面が荷電粒子ビーム(X)のビーム軸と交差するように配されたグラファイト膜から構成され、グラファイト膜の厚さは1μm以上であり、グラファイト膜の膜面方向の熱伝導度が膜厚方向の熱伝導度の20倍以上である。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)