Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales

1. (WO2017188108) AGENT DE GRAVURE ET PROCÉDÉ DE PRODUCTION D'UN SUBSTRAT ÉLECTRONIQUE

Pub. No.:    WO/2017/188108    International Application No.:    PCT/JP2017/015834
Publication Date: Fri Nov 03 00:59:59 CET 2017 International Filing Date: Fri Apr 21 01:59:59 CEST 2017
IPC: C23F 1/44
H01L 21/306
H01L 21/308
Applicants: SANYO CHEMICAL INDUSTRIES, LTD.
三洋化成工業株式会社
Inventors: KOJIMA, Toshiki
児島 俊貴
SATO, Shohei
佐藤 祥平
KATSUKAWA, Yoshitaka
勝川 吉隆
Title: AGENT DE GRAVURE ET PROCÉDÉ DE PRODUCTION D'UN SUBSTRAT ÉLECTRONIQUE
Abstract:
Le but de la présente invention est de fournir un agent de gravure qui peut être utilisé pour retirer sélectivement du cuivre et/ou un alliage de cuivre d'un substrat comprenant du cuivre et/ou un alliage de cuivre, et du nickel et/ou un alliage de nickel. L'agent de gravure selon la présente invention est destiné à graver un substrat contenant du cuivre et/ou un alliage de cuivre, et du nickel et/ou un alliage de nickel, pour en éliminer le cuivre et/ou l'alliage de cuivre, et il contient un acide organique (A) et un agent oxydant (B). L'acide organique (A) a une constante de dissociation acide (pKa) de -1,10 à 2,60. Un premier potentiel de corrosion, tel que mesuré avec du nickel comme électrode de travail, de l'Ag/AgCl rempli d'une solution de KCl saturée comme électrode de référence et l'agent de gravure comme solution électrolytique, vaut de 0,1 à 0,5 V.