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1. (WO2017187689) MATÉRIAU ABRASIF, COMPOSITION DE POLISSAGE ET PROCÉDÉ DE POLISSAGE

Pub. No.:    WO/2017/187689    International Application No.:    PCT/JP2017/003017
Publication Date: 2 nov. 2017 International Filing Date: 27 janv. 2017
IPC: C09K 3/14
B24B 37/00
H01L 21/304
Applicants: FUJIMI INCORPORATED
株式会社フジミインコーポレーテッド
Inventors: MORINAGA Hitoshi
森永 均
TAMAI Kazusei
玉井 一誠
ASAI Maiko
浅井 舞子
ITO Yuuichi
伊藤 友一
TENKOU Kyousuke
天▲高▼ 恭祐
KAMADA Toru
鎌田 透
Title: MATÉRIAU ABRASIF, COMPOSITION DE POLISSAGE ET PROCÉDÉ DE POLISSAGE
Abstract:
L'invention concerne un matériau abrasif, une composition de polissage, ainsi qu’un procédé de polissage grâce auxquels il est possible de polir la surface d'un alliage ou d'un oxyde métallique à une vitesse suffisante et d’obtenir une surface de miroir de qualité élevée. Le matériau abrasif comprend de l'alumine qui a une teneur en forme alpha supérieure ou égale à 80 % et présentant une distribution de diamètre particulaire cumulé en volume selon laquelle 50 % du diamètre particulaire est compris entre 0,15 et 0,35 µm. La composition de polissage contient le matériau abrasif et présente un pH inférieur ou égal à 7. Le matériau abrasif et la composition de polissage sont utilisés pour le polissage de pièces contenant chacune un alliage et/ou un oxyde métallique.