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1. (WO2017186166) TRANSPORTEUR DE BOÎTES À PLAQUETTES

Pub. No.:    WO/2017/186166    International Application No.:    PCT/CN2017/082408
Publication Date: Fri Nov 03 00:59:59 CET 2017 International Filing Date: Sat Apr 29 01:59:59 CEST 2017
IPC: H01L 21/677
Applicants: SHANGHAI MICRO ELECTRONICS EQUIPMENT (GROUP) CO., LTD.
上海微电子装备(集团)股份有限公司
Inventors: LI, Lingyu
李玲雨
XU, Qixin
许琦欣
Title: TRANSPORTEUR DE BOÎTES À PLAQUETTES
Abstract:
L'invention porte sur un transporteur de boîtes à plaquettes, comprenant un véhicule intelligent, un châssis à extension inférieure érigé sur le véhicule intelligent, ainsi qu'un châssis de support de boîtes à plaquettes fixé sur le châssis à extension inférieure. Le châssis de support de boîtes à plaquettes est divisé en couches multiples et chaque couche est pourvue d'une pluralité de plaques de support de boîtes à plaquettes. La surface de plaque de support de boîtes à plaquettes comporte est une première rainure et une deuxième rainure formée dans la première. La première rainure sert à soutenir une boîte à plaquettes dans une première jauge. La deuxième rainure sert à soutenir une boîte à plaquettes dans une deuxième jauge. Avec la première et la deuxième rainure, la même plaque de support de boîtes à plaquettes soutient les boîtes à plaquettes de deux jauges différentes, de sorte que le transporteur de boîtes à plaquettes soit adapté au transport de boîtes à plaquettes de deux jauges différentes, ce qui améliore le rendement de transport. En outre, grâce au transport du véhicule intelligent, la pose d'un système de rails et le travail manuel impliqué dans le transport ne sont pas nécessaires. Ainsi, le coût de transport est réduit tandis que le transport automatique des boîtes à plaquettes est réalisé, ce qui permet de réaliser des économies de temps et de main d'oeuvre.