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PATENTSCOPE

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1. (WO2017186161) DISPOSITIF DE COLLAGE
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N° de publication : WO/2017/186161 N° de la demande internationale : PCT/CN2017/082390
Date de publication : 02.11.2017 Date de dépôt international : 28.04.2017
CIB :
H01L 21/67 (2006.01)
Déposants : SHANGHAI MICRO ELECTRONICS EQUIPMENT (GROUP) CO., LTD.[CN/CN]; 1525 Zhangdong Road Zhangjiang High-Tech Park Shanghai 201203, CN
Inventeurs : FU, Hui; CN
SHANG, Feixiang; CN
Mandataire : SHANGHAI SAVVY INTELLECTUAL PROPERTY AGENCY; Room 341, Building 1 789 West Tianshan Road Changning District Shanghai 200335, CN
Données relatives à la priorité :
201610284256.929.04.2016CN
Titre (EN) BONDING DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE COLLAGE
(ZH) 一种键合设备
Abrégé : front page image
(EN) A bonding device. A flexible platen is disposed between an upper platen assembly (9) and a transmission apparatus, and the flexible platen of the upper platen assembly (9) is located inside a vacuum cavity (6). The flexible platen is of a scalable structure. Therefore, when the flexible platen stretches or expands to have a larger volume, the flexible platen applies a downward pressure to the upper platen assembly (9) connected to the flexible platen, so that the upper platen assembly (9) moves downwards slowly. After the upper platen assembly (9) and a lower platen assembly (7) are both adhered to a bonded object tightly, the flexible platen continues applying the downward pressure to the upper platen assembly (9). In this way, the upper platen assembly (9) can apply a pressure to the bonded object evenly. In addition, the flexible platen has the flexibility, and is relatively slow in stretching or volume expansion. Therefore, it is ensured that the upper platen assembly (9) applies a pressure slowly and evenly.
(FR) La présente invention concerne un dispositif de collage. Selon la présente invention, une platine flexible est disposée entre un ensemble de platine supérieur (9) et un appareil de transmission, et la platine flexible de l'ensemble de platine supérieur (9) est situé à l'intérieur d'une cavité sous vide (6). La platine flexible est d'une structure évolutive. Par conséquent, lorsque la platine flexible s'étire ou se dilate de façon à avoir un plus grand volume, la platine flexible applique une pression vers le bas à l'ensemble de platine supérieur (9) raccordé à la platine flexible, de sorte que l'ensemble de platine supérieur (9) se déplace lentement vers le bas. Une fois que l'ensemble de platine supérieur (9) et un ensemble de platine inférieur (7) sont tous les deux collés à un objet étroitement collé, la platine flexible continue d'appliquer la pression vers le bas à l'ensemble de platine supérieur (9). De cette manière, l'ensemble de platine supérieur (9) peut appliquer une pression à l'objet collé de façon uniforme. De plus, le plateau flexible présente une flexibilité, et présente un étirage ou une expansion de volume relativement lents. Par conséquent, il est assuré que l'ensemble de platine supérieur (9) applique une pression lentement et uniformément.
(ZH) 一种键合设备,通过在上压盘组件(9)与传动装置之间设置柔性压盘,上压盘组件(9)的柔性压盘位于真空腔体(6)内部,由于柔性压盘为可伸缩结构,当柔性压盘伸长或者膨胀体积增大时,柔性压盘给予与其连接的上压盘组件(9)向下的压力,从而使得上压盘组件(9)缓慢向下移动,直至上压盘组件(9)与下压盘组件(7)皆均匀紧贴键合对象后,柔性压盘继续给予上压盘组件(9)向下的压力,这样使得上压盘组件(9)能够对键合对象均匀施压,且由于柔性压盘具有柔性,其伸长或者体积膨胀时较为缓慢,因此保证了上压盘组件(9)施力的缓慢性和均匀性。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
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Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : chinois (ZH)
Langue de dépôt : chinois (ZH)