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1. (WO2017185879) TRANSISTOR À COUCHES MINCES, APPAREIL D'AFFICHAGE LE COMPRENANT ET SON PROCÉDÉ DE FABRICATION

Pub. No.:    WO/2017/185879    International Application No.:    PCT/CN2017/075753
Publication Date: Fri Nov 03 00:59:59 CET 2017 International Filing Date: Tue Mar 07 00:59:59 CET 2017
IPC: H01L 21/336
H01L 29/786
H01L 27/12
G02F 1/1362
Applicants: BOE TECHNOLOGY GROUP CO., LTD.
Inventors: NING, Ce
YANG, Wei
Title: TRANSISTOR À COUCHES MINCES, APPAREIL D'AFFICHAGE LE COMPRENANT ET SON PROCÉDÉ DE FABRICATION
Abstract:
L'invention concerne un transistor à couches minces qui comprend un substrat de base (100) ; une couche active (200') sur le substrat de base ayant une zone de canal, une zone de contact d'électrode de source et une zone de contact d'électrode déversoir ; une couche d'arrêt de gravure (600) recouvrant la zone de canal sur un côté de la zone de canal, distal par rapport au substrat de base ; une électrode de source (300') sur un côté de la zone de contact d'électrode de source, distal par rapport au substrat de base ; une électrode déversoir (300') sur un côté de la zone de contact d'électrode de drain, distal par rapport au substrat de base. Une épaisseur de la couche active dans la zone de contact d'électrode de source et la zone de contact d'électrode déversoir est sensiblement égale à une épaisseur combinée de la couche active dans la zone de canal et de la couche d'arrêt de gravure.