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1. (WO2017184357) PROCÉDÉ DE FORMATION D'UNE COUCHE AUTO-ASSEMBLÉE DIRIGÉE SUR UN SUBSTRAT
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N° de publication :    WO/2017/184357    N° de la demande internationale :    PCT/US2017/026518
Date de publication : 26.10.2017 Date de dépôt international : 07.04.2017
CIB :
H01L 21/027 (2006.01), H01L 21/768 (2006.01)
Déposants : ASM IP HOLDING B.V. [NL/NL]; Versterkerstraat 8 1322 AP Almere (NL).
IMEC VZW [BE/BE]; Kapeldreef 75 3001 Leuven (BE).
ASM AMERICA, INC. [US/US]; 3440 East University Drive Phoenix, AZ 85034-7200 (US) (MN only)
Inventeurs : KNAEPEN, Werner; (NL).
MAES, Jan, Willem; (NL).
STOKHOF, Maarten; (NL).
GRONHEID, Roel; (BE).
SRIRAMAN, Hari, Pathangi; (BE)
Mandataire : DELANEY, Karoline, A.; (US)
Données relatives à la priorité :
62/324,255 18.04.2016 US
Titre (EN) METHOD OF FORMING A DIRECTED SELF-ASSEMBLED LAYER ON A SUBSTRATE
(FR) PROCÉDÉ DE FORMATION D'UNE COUCHE AUTO-ASSEMBLÉE DIRIGÉE SUR UN SUBSTRAT
Abrégé : front page image
(EN)A method of forming a directed self-assembled (DSA) layer on a substrate by: providing a substrate; applying a layer comprising a self-assembly material on the substrate; and annealing of the self-assembly material of the layer to form a directed self-assembled layer by providing a controlled temperature and gas environment around the substrate. The controlled gas environment comprises molecules comprising an oxygen element with a partial pressure between 10 - 2000 Pa.
(FR)Un procédé de formation d'une couche auto-assemblée dirigée (DSA) sur un substrat consiste à : utiliser un substrat; appliquer une couche comprenant un matériau d'auto-assemblage sur le substrat; et recuire le matériau d'auto-assemblage de la couche pour former une couche auto-assemblée dirigée en fournissant une température et un environnement gazeux contrôlés autour du substrat. L'environnement gazeux contrôlé comprend des molécules comprenant un élément oxygène ayant une pression partielle comprise entre 10 et 2 000 Pa.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)