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1. (WO2017184331) INGÉNIERIE DE CONTACT DE PHASE 2H/1T POUR CAPTEURS DE VAPEUR CHIMIQUE DE DICHALCOGÉNURE DE MÉTAL DE TRANSITION À HAUTE PERFORMANCE

Pub. No.:    WO/2017/184331    International Application No.:    PCT/US2017/025997
Publication Date: Fri Oct 27 01:59:59 CEST 2017 International Filing Date: Wed Apr 05 01:59:59 CEST 2017
IPC: G01N 27/12
H01L 21/285
G01N 27/414
Applicants: THE GOVERNMENT OF THE UNITED STATES OF AMERICA, AS REPRESENTED BY THE SECRETARY OF THE NAVY
Inventors: FRIEDMAN, Adam, L.
PERKINS, F., Keith
CULBERTSON, James, C.
HANBICKI, Aubrey, T.
CAMPBELL, Paul, M.
Title: INGÉNIERIE DE CONTACT DE PHASE 2H/1T POUR CAPTEURS DE VAPEUR CHIMIQUE DE DICHALCOGÉNURE DE MÉTAL DE TRANSITION À HAUTE PERFORMANCE
Abstract:
La présente invention porte sur un procédé de fabrication d'un capteur de vapeur chimique de matériau à faible dimension comprenant la fourniture d'une monocouche d'un dichalogénogénure de métal de transition, l'application de la monocouche sur un substrat, l'application du film de PMMA, la définition de tranchées, et le placement du dispositif dans un bain de n-butyle lithium (nbl). La présente invention porte également sur un capteur de vapeur chimique de matériau à faible dimension comprenant une monocouche d'un dichalogénogénure de métal de transition, la monocouche étant appliquée à un substrat, une région ou des régions du dichalcogénure de métal de transition qui ont été traitées avec du n-butyle lithium, la région ou les régions du dichalcogénure de métal de transition qui ont été traitées avec du n-butyle lithium passent d'une phase semi-conductrice à une phase métallique, la région ou les régions du dichalcogénure de métal de transition qui ont été traitées avec du n-butyle lithium passent d'une phase semi-conductrice à une phase métallique, des contacts métalliques sur la région ou les régions du dichalogénogénure de métal de transition qui ont été traitées avec le n-butyle lithium.