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1. (WO2017183646) CAPTEUR COMPOSITE
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N° de publication :    WO/2017/183646    N° de la demande internationale :    PCT/JP2017/015646
Date de publication : 26.10.2017 Date de dépôt international : 19.04.2017
CIB :
G01C 19/56 (2012.01), G01P 15/08 (2006.01), G01P 15/125 (2006.01), G01P 15/18 (2013.01), H01L 29/84 (2006.01), H01L 41/047 (2006.01), H01L 41/09 (2006.01), H01L 41/113 (2006.01)
Déposants : FUJIFILM CORPORATION [JP/JP]; 26-30, Nishiazabu 2-chome, Minato-ku, Tokyo 1068620 (JP)
Inventeurs : FUJII, Takamichi; (JP)
Mandataire : TAIYO, NAKAJIMA & KATO; (JP)
Données relatives à la priorité :
2016-084895 21.04.2016 JP
Titre (EN) COMPOSITE SENSOR
(FR) CAPTEUR COMPOSITE
(JA) 複合センサ
Abrégé : front page image
(EN)[Problem] To provide a composite sensor that is capable of detecting static acceleration in addition to angular velocity and that can be readily manufactured while allowing a compact implementation. [Solution] Provided is a composite sensor (1) including: an angular-velocity sensor including a weight (15) configured as a part of a plate-shaped substrate (10), a vibration exciting section that induces vibration in the weight (15) in the direction of a predetermined vibration axis, and an angular-velocity detecting section that calculates an angular velocity by detecting a displacement of the weight (15), which occurs as a result of receiving a Coriolis force, wherein the vibration exciting section and the angular-velocity detecting section respectively include piezoelectric elements (25), (26) formed of laminated bodies of a lower electrode (21), a piezoelectric film (22), and upper electrodes (24A), (24B) provided on one face of the plate-shaped substrate (10); and an acceleration sensor including a movable electrode (35) provided on a portion of the weight (15), a fixed electrode (45) provided so as to face the movable electrode (35), and an acceleration detecting section that calculates an acceleration by detecting a change in the electrostatic capacitance between these electrodes (35), (45).
(FR)Le problème décrit par l'invention est de fournir un capteur composite qui est apte à détecter une accélération statique en plus d'une vitesse angulaire et qui peut être facilement fabriqué tout en permettant une mise en œuvre compacte. La solution selon la présente invention concerne un capteur composite (1) comprenant : un capteur de vitesse angulaire comprenant un poids (15) configuré en tant que partie d'un substrat en forme de plaque (10), une section d'excitation par vibration qui induit une vibration dans le poids (15) dans la direction d'un axe de vibration prédéterminé, et une section de détection de vitesse angulaire qui calcule une vitesse angulaire par détection d'un déplacement du poids (15), qui se produit en résultat de la réception d'une force de Coriolis, la section d'excitation par vibration et la section de détection de vitesse angulaire comprenant respectivement des éléments piézoélectriques (25), (26) formés de corps stratifiés d'une électrode inférieure (21), d'un film piézoélectrique (22), et d'électrodes supérieures (24A), (24B) disposés sur une face du substrat en forme de plaque (10) ; et un capteur d'accélération comprenant une électrode mobile (35) disposé sur une partie du poids (15), une électrode fixe (45) étant disposée de manière à faire face à l'électrode mobile (35), et une section de détection d'accélération qui calcule une accélération par détection d'un changement de la capacité électrostatique entre ces électrodes (35), (45).
(JA)【課題】製造が容易であり、かつ小型化が実現できる、角速度に加え静的加速度の検出が可能な複合センサを提供する。 【解決手段】板状基材(10)の一部として構成された錘部(15)と、錘部(15)に対して所定の振動軸の方向に振動を誘起する振動励起部と、コリオリ力を受けて生じる錘部(15)の変位を検知して角速度を算出する角速度検出部とを備え、振動励起部および角速度検出部が、それぞれ板状基材(10)の一面に設けられた下部電極(21)、圧電膜(22)および上部電極(24A),(24B)の積層体からなる圧電素子(25),(26)を備えてなる角速度センサと、錘部(15)の一部に設けられた可動電極(35)、可動電極(35)に対向して設けられた固定電極(45)、および両電極(35)、(45)間の静電容量の変化を検出して加速度を算出する加速度検出部を備えた加速度センサとを備えた複合センサ(1)とする。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
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Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)