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1. (WO2017183506) DISPOSITIF DE TRAITEMENT PAR PLASMA
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N° de publication :    WO/2017/183506    N° de la demande internationale :    PCT/JP2017/014696
Date de publication : 26.10.2017 Date de dépôt international : 10.04.2017
CIB :
H01L 21/3065 (2006.01), H01L 21/683 (2006.01), H05H 1/46 (2006.01)
Déposants : TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 3-1 Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 1076325 (JP)
Inventeurs : MATSUMOTO Kazuya; (JP).
HOSAKA Yuki; (JP).
OHATA Mitsunori; (JP).
YAMAMOTO Takashi; (JP)
Mandataire : HASEGAWA Yoshiki; (JP).
KUROKI Yoshiki; (JP).
KASHIOKA Junji; (JP)
Données relatives à la priorité :
2016-085345 21.04.2016 JP
Titre (EN) PLASMA TREATMENT DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE TRAITEMENT PAR PLASMA
(JA) プラズマ処理装置
Abrégé : front page image
(EN)This plasma treatment device is equipped with a chamber body for providing a chamber, a support structure for supporting a workpiece inside the chamber body, and a first drive device configured so as to rotate the support structure inside the chamber body around a first axis that extends in a direction orthogonal to the vertical direction. The support structure has: a holding part that includes an electrostatic chuck for holding the workpiece, and is provided so as to be capable of rotating around a second axis orthogonal to the first axis; a container provided on the bottom side of the holding part; and a second drive device configured so as to rotate the holding part around the second axis. The container has a cylindrical container body, and a bottom cover for closing the bottom-side opening in the container body. The bottom cover can be removed from the container body.
(FR)La présente invention concerne un dispositif de traitement par plasma qui est équipé d'un corps de chambre pour fournir une chambre, d'une structure de support pour supporter une pièce à usiner à l'intérieur du corps de chambre, et d'un premier dispositif d'entraînement configuré de façon à faire tourner la structure de support à l'intérieur du corps de chambre autour d'un premier axe qui s'étend dans une direction perpendiculaire à la direction verticale. La structure de support comporte : une partie de maintien qui comprend un mandrin électrostatique pour maintenir la pièce à usiner, et qui est disposée de façon à pouvoir tourner autour d'un second axe perpendiculaire au premier axe ; un récipient disposé sur le côté inférieur de la partie de maintien ; et un second dispositif d'entraînement configuré de façon à faire tourner la partie de maintien autour du second axe. Le récipient a un corps de récipient cylindrique, et un couvercle inférieur pour fermer l'ouverture côté fond dans le corps de récipient. Le couvercle inférieur peut être retiré du corps de récipient.
(JA)プラズマ処理装置は、チャンバを提供するチャンバ本体と、チャンバ本体内において被加工物を支持する支持構造体と、チャンバ本体内において、鉛直方向に直交する方向に延びる第1軸線周りに支持構造体を回転させるよう構成された第1の駆動装置とを備える。支持構造体は、被加工物を保持する静電チャックを含み、第1軸線に直交する第2軸線周りに回転可能に設けられた保持部と、保持部の下側に設けられた容器と、保持部を第2軸線周りに回転させるよう構成された第2の駆動装置とを有する。容器は、筒状の容器本体、及び、容器本体の下側開口を閉じる底蓋を有する。底蓋は、容器本体から取り外し可能である。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)