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1. (WO2017183167) GABARIT DE RÉGLAGE DE HAUTEUR

Pub. No.:    WO/2017/183167    International Application No.:    PCT/JP2016/062696
Publication Date: 26 oct. 2017 International Filing Date: 22 avr. 2016
IPC: G01B 3/04
G01B 15/00
H01J 37/28
Applicants: HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION
株式会社 日立ハイテクノロジーズ
Inventors: SETO Miharu
瀬戸 美晴
AOKI Kenji
青木 賢治
Title: GABARIT DE RÉGLAGE DE HAUTEUR
Abstract:
Lorsqu'un échantillon est inséré dans un microscope électronique à balayage, afin d'empêcher l'échantillon de venir en contact avec un objectif/détecteur, un gabarit de réglage de hauteur est utilisé pour régler et confirmer la hauteur de l'échantillon de sorte que la hauteur corresponde au réglage du logiciel de commande. Un problème avec les gabarits existants réside dans le fait que, étant donné que la taille d'une platine à échantillons crée une distance entre l'échantillon et le gabarit, une erreur de mesure peut facilement se produire en raison de l'angle de la ligne de visée, et une hauteur de l'échantillon supérieure à celle du réglage du logiciel de commande peut conduire à un endommagement de l'échantillon ou du détecteur. En outre, la disposition de la platine à échantillons sur la surface avant du gabarit de réglage de hauteur réduit la visibilité d'une échelle. La présente invention permet d'amener un échantillon et une échelle à proximité l'un de l'autre indépendamment de la taille d'une platine à échantillons et permet de mesurer avec précision la hauteur d'un échantillon indépendamment de l'angle de visualisation en dotant un gabarit de réglage de hauteur d'une forme qui s'élargit vers la surface supérieure dans le sens de la gravité et d'une échelle sur une surface inclinée de celui-ci. En outre, la visibilité de l'échelle est améliorée par le positionnement de la platine à échantillons près du gabarit pendant le réglage/la confirmation de la hauteur de l'échantillon.