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1. (WO2017180514) VANNE D'ISOLATION SOUS VIDE ACTIVEMENT REFROIDIE
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N° de publication :    WO/2017/180514    N° de la demande internationale :    PCT/US2017/026807
Date de publication : 19.10.2017 Date de dépôt international : 10.04.2017
CIB :
H01L 21/205 (2006.01), F16K 5/10 (2006.01), H01L 21/67 (2006.01)
Déposants : MKS INSTRUMENTS, INC. [US/US]; 2 Tech Drive, Suite 201 Andover, Massachusetts 01810 (US)
Inventeurs : HILL, Gordon; (US).
BROYER, David F.; (US).
NEUMEISTER, David C.; (US).
LEFEVRE, Bradly Raymond; (US)
Mandataire : MILLS, Steven M.; (US).
FOLEY, Shawn; (US).
CHOW, Stephen Y.; (US).
GOLDMAN, Gabriel; (US).
GOMES, David W.; (US).
HAMILTON, John A.; (US).
HASAN, Shahid; (US).
JOBSE, Bruce D.; (US).
LOPEZ, Orlando; (US).
MARAIA, Joseph M.; (US).
MOORE, Ronda P.; (US).
SCHEPPER, Marlo M.; (US).
SERIO, John C.; (US).
SUSAN, Janine M.; (US).
SORKIN, Paul; (US).
QUINN, Joseph P.; (US)
Données relatives à la priorité :
62/320,718 11.04.2016 US
15/478,623 04.04.2017 US
Titre (EN) ACTIVELY COOLED VACUUM ISOLATION VALVE
(FR) VANNE D'ISOLATION SOUS VIDE ACTIVEMENT REFROIDIE
Abrégé : front page image
(EN)A cooled isolation valve includes a valve body, a stationary element coupled to the valve body, and a movable closure element movable with respect to the stationary element between a closed position in which the movable closure element and the stationary element are brought together and an open position. One of the movable closure element and the stationary element includes a sealing element. In the closed position of the movable closure element, the sealing element provides a seal between the movable closure element and the stationary element. A fluid channel is formed in contact with the movable closure element and movable with the movable closure element with respect to the stationary element, such that a fluid in the fluid channel effects heat transfer in the movable closure element. A bellows of the isolation valve can include a metallic substrate with a ceramic coating.
(FR)L'invention concerne une vanne d'isolation refroidie comprenant un corps de vanne, un élément fixe accouplé au corps de vanne, et un élément de fermeture mobile par rapport à l'élément fixe entre une position fermée dans laquelle l'élément de fermeture mobile et l'élément fixe sont amenés en contact et une position ouverte. L'élément de fermeture mobile ou l'élément fixe comprend un élément d'étanchéité. Lorsque l'élément de fermeture mobile est dans la position fermée, l'élément d'étanchéité forme un joint entre l'élément de fermeture mobile et l'élément fixe. Un canal de fluide est formé en contact avec l'élément de fermeture mobile et est mobile avec ce dernier par rapport à l'élément fixe, de sorte qu'un fluide dans le canal de fluide effectue un transfert de chaleur dans l'élément de fermeture mobile. Un soufflet de la vanne d'isolation peut comprendre un substrat métallique pourvu d'un revêtement céramique.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)