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N° de publication : WO/2017/180514 N° de la demande internationale : PCT/US2017/026807
Date de publication : 19.10.2017 Date de dépôt international : 10.04.2017
CIB :
H01L 21/205 (2006.01) ,F16K 5/10 (2006.01) ,H01L 21/67 (2006.01)
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
L
DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21
Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
02
Fabrication ou traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou de leurs parties constitutives
04
les dispositifs présentant au moins une barrière de potentiel ou une barrière de surface, p.ex. une jonction PN, une région d'appauvrissement, ou une région de concentration de porteurs de charges
18
les dispositifs ayant des corps semi-conducteurs comprenant des éléments du quatrième groupe de la Classification Périodique, ou des composés AIIIBV, avec ou sans impuretés, p.ex. des matériaux de dopage
20
Dépôt de matériaux semi-conducteurs sur un substrat, p.ex. croissance épitaxiale
205
en utilisant la réduction ou la décomposition d'un composé gazeux donnant un condensat solide, c. à d. un dépôt chimique
F MÉCANIQUE; ÉCLAIRAGE; CHAUFFAGE; ARMEMENT; SAUTAGE
16
ÉLÉMENTS OU ENSEMBLES DE TECHNOLOGIE; MESURES GÉNÉRALES POUR ASSURER LE BON FONCTIONNEMENT DES MACHINES OU INSTALLATIONS; ISOLATION THERMIQUE EN GÉNÉRAL
K
SOUPAPES; ROBINETS; VANNES; COMMANDES À FLOTTEURS; DISPOSITIFS POUR VENTILER OU AÉRER
5
Robinets à boisseau consistant seulement en un dispositif obturateur dont au moins une des faces d'obturation a la forme d'une surface de solide de révolution plus ou moins complète, le mouvement d'ouverture et de fermeture étant essentiellement rotatif
08
Détails
10
Dispositifs pour le réglage additionnel du débit
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
L
DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21
Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
67
Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
Déposants : MKS INSTRUMENTS, INC.[US/US]; 2 Tech Drive, Suite 201 Andover, Massachusetts 01810, US
Inventeurs : HILL, Gordon; US
BROYER, David F.; US
NEUMEISTER, David C.; US
LEFEVRE, Bradly Raymond; US
Mandataire : MILLS, Steven M.; US
FOLEY, Shawn; US
CHOW, Stephen Y.; US
GOLDMAN, Gabriel; US
GOMES, David W.; US
HAMILTON, John A.; US
HASAN, Shahid; US
JOBSE, Bruce D.; US
LOPEZ, Orlando; US
MARAIA, Joseph M.; US
MOORE, Ronda P.; US
SCHEPPER, Marlo M.; US
SERIO, John C.; US
SUSAN, Janine M.; US
SORKIN, Paul; US
QUINN, Joseph P.; US
Données relatives à la priorité :
15/478,62304.04.2017US
62/320,71811.04.2016US
Titre (EN) ACTIVELY COOLED VACUUM ISOLATION VALVE
(FR) VANNE D'ISOLATION SOUS VIDE ACTIVEMENT REFROIDIE
Abrégé :
(EN) A cooled isolation valve includes a valve body, a stationary element coupled to the valve body, and a movable closure element movable with respect to the stationary element between a closed position in which the movable closure element and the stationary element are brought together and an open position. One of the movable closure element and the stationary element includes a sealing element. In the closed position of the movable closure element, the sealing element provides a seal between the movable closure element and the stationary element. A fluid channel is formed in contact with the movable closure element and movable with the movable closure element with respect to the stationary element, such that a fluid in the fluid channel effects heat transfer in the movable closure element. A bellows of the isolation valve can include a metallic substrate with a ceramic coating.
(FR) L'invention concerne une vanne d'isolation refroidie comprenant un corps de vanne, un élément fixe accouplé au corps de vanne, et un élément de fermeture mobile par rapport à l'élément fixe entre une position fermée dans laquelle l'élément de fermeture mobile et l'élément fixe sont amenés en contact et une position ouverte. L'élément de fermeture mobile ou l'élément fixe comprend un élément d'étanchéité. Lorsque l'élément de fermeture mobile est dans la position fermée, l'élément d'étanchéité forme un joint entre l'élément de fermeture mobile et l'élément fixe. Un canal de fluide est formé en contact avec l'élément de fermeture mobile et est mobile avec ce dernier par rapport à l'élément fixe, de sorte qu'un fluide dans le canal de fluide effectue un transfert de chaleur dans l'élément de fermeture mobile. Un soufflet de la vanne d'isolation peut comprendre un substrat métallique pourvu d'un revêtement céramique.
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États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)