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1. (WO2017180322) ÉVITEMENT DE MATIÈRES SOLIDES EN RÉDUCTION DE PLASMA PAR UTILISATION D'UN CYCLE DE NETTOYAGE AU PLASMA D'OXYGÈNE

Pub. No.:    WO/2017/180322    International Application No.:    PCT/US2017/024485
Publication Date: Fri Oct 20 01:59:59 CEST 2017 International Filing Date: Wed Mar 29 01:59:59 CEST 2017
IPC: H01L 21/02
H01L 21/205
C23C 16/455
Applicants: APPLIED MATERIALS, INC.
Inventors: DICKINSON, Colin John
Title: ÉVITEMENT DE MATIÈRES SOLIDES EN RÉDUCTION DE PLASMA PAR UTILISATION D'UN CYCLE DE NETTOYAGE AU PLASMA D'OXYGÈNE
Abstract:
Des modes de réalisation de l'invention comprennent un processus de réduction de plasma qui prend un effluent provenant d'une chambre de traitement et fait réagir l'effluent avec un réactif à base de vapeur d'eau à l'intérieur d'une source de plasma placée dans une ligne primaire par injection du réactif à base de vapeur d'eau dans la ligne primaire ou la source de plasma. Les matières présentes dans l'effluent ainsi que le réactif à base de vapeur d'eau sont excités par la source de plasma, convertissant les matières en espèces gazeuses telles que le HF qui est facilement purifié par une technologie de réduction de purification à l'eau classique. Un gaz contenant de l'oxygène est injecté périodiquement dans la ligne primaire ou dans la source de plasma par rapport à l'injection de vapeur d'eau afin de réduire ou d'éviter la génération de particules solides. Le procédé de réduction présente une bonne efficacité de suppression de destruction (DRE) avec une génération réduite au minimum de particules solides.