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1. (WO2017180304) TEST LPC EN LIGNE À 30 NM ET NETTOYAGE D'ÉQUIPEMENT DE TRAITEMENT DE SEMI-CONDUCTEURS
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international    Formuler une observation

N° de publication :    WO/2017/180304    N° de la demande internationale :    PCT/US2017/023642
Date de publication : 19.10.2017 Date de dépôt international : 22.03.2017
CIB :
H01L 21/67 (2006.01), H01L 21/02 (2006.01)
Déposants : APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, California 95054 (US)
Inventeurs : WANG, Jianqi; (US).
LU, William Ming-Ye; (US).
LIN, Yixing; (US).
PAPKE, Kevin A.; (US)
Mandataire : PATTERSON, B. Todd; (US).
TACKETT, Keith M.; (US)
Données relatives à la priorité :
62/322,523 14.04.2016 US
Titre (EN) 30NM IN-LINE LPC TESTING AND CLEANING OF SEMICONDUCTOR PROCESSING EQUIPMENT
(FR) TEST LPC EN LIGNE À 30 NM ET NETTOYAGE D'ÉQUIPEMENT DE TRAITEMENT DE SEMI-CONDUCTEURS
Abrégé : front page image
(EN)The implementations described herein generally relate to 30nm in-line liquid particle count testing equipment which analyses and cleans semiconductor processing equipment. More specifically, the implementations described relate to a system for diluting, analyzing, and modifying fluids to enable the observation of the contents of the fluids. A dilution sampling tool is coupled with a liquid particle detector for reading the contents of an extraction solution containing particles from semiconductor processing equipment, such as a liner, a shield, a faceplate, or a showerhead, in a cleaning tank. As such, accurate liquid particle readings may be had which reduce oversaturation of the particle detector.
(FR)Selon divers modes de réalisation, la présente invention concerne de manière générale un équipement de test de comptage de particules en milieu liquide (LPC) en ligne à 30 nm qui analyse et nettoie un équipement de traitement de semi-conducteurs. Plus précisément, les modes de réalisation décrits concernent un système servant à diluer, analyser et modifier des fluides en vue de permettre l'observation des contenus des fluides. Un outil d'échantillonnage de dilution est couplé à un détecteur de particules en milieu liquide servant à lire les contenus d'une solution d'extraction contenant des particules provenant d'un équipement de traitement de semi-conducteurs, tel qu'une chemise, un blindage, une plaque frontale ou une douchette, dans un réservoir de nettoyage. Ainsi, des lectures précises de particules en milieu liquide peuvent être obtenues, qui réduisent la sursaturation du détecteur de particules.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)