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1. (WO2017176815) SYSTÈME D'ALIMENTATION EN LIQUIDE
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N° de publication : WO/2017/176815 N° de la demande internationale : PCT/US2017/026022
Date de publication : 12.10.2017 Date de dépôt international : 04.04.2017
CIB :
H01L 21/67 (2006.01)
Déposants : ICHOR SYSTEMS, INC.[US/US]; 200-C Parker Drive, Suite 600 Austin, Texas 78728, US
Inventeurs : MELCER, Chris; US
BARROS, Philip Ryan; US
KUBOTA, Haruyuki; US
TREUR, Randolph; US
CUSHMAN, Todd; US
MULLIGAN, Greg Patrick; US
Mandataire : GRINER, David; US
Données relatives à la priorité :
62/318,20204.04.2016US
Titre (EN) LIQUID DELIVERY SYSTEM
(FR) SYSTÈME D'ALIMENTATION EN LIQUIDE
Abrégé : front page image
(EN) A modular system for enabling a distribution of liquid chemicals comprising a substrate block that includes at least two ports formed in a first major surface of the block and a fluid passageway extending between the two ports. The fluid pathway is preferably a smooth, seamless path where the entire volume of the fluid pathway is directly in line with the desired fluid flow so that fluid flow completely sweeps the entire flow passageway and there are no dead volumes or areas of entrapment in said fluid passageway. A substrate block can be formed from a fluoropolymer using a novel composition and manufacturing process. A sealing assembly is provided that uses a combination of a replaceable insert-type seal with a tongue and groove seal formed into the modular components.
(FR) La présente invention concerne un système modulaire permettant une distribution de produits chimiques liquides comprenant un bloc de substrat qui comprend au moins deux orifices formés dans une première surface principale du bloc et un passage de fluide s'étendant entre les deux orifices. Le trajet de fluide est, de préférence, un trajet lisse, sans soudure, où le volume entier du trajet de fluide est directement aligné avec l'écoulement de fluide souhaité de telle sorte que l'écoulement de fluide balaie complètement la totalité du passage d'écoulement et qu'il n'y ait aucun volume mort ni aucune zone de piégeage dans ledit passage de fluide. Un bloc de substrat peut être formé à partir d'un fluoropolymère à l'aide d'une nouvelle composition et d'un nouveau procédé de fabrication. L'invention concerne un ensemble d'étanchéité qui utilise une combinaison d'un joint d'étanchéité de type à insert remplaçable et d'un emboîtement double formé dans les composants modulaires.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)