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1. (WO2017176595) PROCÉDÉ ET SYSTÈME DE COMMANDE DE CHARGE D'IMAGERIE DE STRUCTURES MÉTALLIQUES FLOTTANTES SUR DES SUBSTRATS NON CONDUCTEURS

Pub. No.:    WO/2017/176595    International Application No.:    PCT/US2017/025595
Publication Date: 12 oct. 2017 International Filing Date: 31 mars 2017
IPC: H01J 37/147
H01J 37/28
Applicants: KLA-TENCOR CORPORATION
Inventors: HEGDE, Arjun
GRELLA, Luca
SEARS, Christopher
Title: PROCÉDÉ ET SYSTÈME DE COMMANDE DE CHARGE D'IMAGERIE DE STRUCTURES MÉTALLIQUES FLOTTANTES SUR DES SUBSTRATS NON CONDUCTEURS
Abstract:
La présente invention concerne un système de microscopie électronique à balayage. Le système comprend une platine d'échantillon conçue pour maintenir fermement un échantillon, ayant des structures conductrices, disposé sur un substrat isolant. Le système comprend une colonne optique électronique comprenant une source d'électrons configurée afin de générer un faisceau d'électrons primaire et un ensemble d'éléments optiques électroniques configuré afin de diriger au moins une partie du faisceau d'électrons primaire sur une partie de l'échantillon. Le système comprend également un ensemble détecteur configuré afin de détecter les électrons émanant de la surface de l'échantillon. Le système comprend en outre un dispositif de commande couplé à l'ensemble détecteur. Le dispositif de commande est conçu pour amener la colonne optique électronique et la platine à effectuer, à l'aide du faisceau d'électrons primaire, une série alternée de balayages d'image et de balayages d'inondation de la partie de l'échantillon, chaque balayage d'inondation étant effectué séquentiellement à au moins un balayage d'imagerie.