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1. (WO2017176508) SYSTÈMES DE SONDE BLINDÉS À ENVIRONNEMENTS DE TEST CONTRÔLÉS
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N° de publication :    WO/2017/176508    N° de la demande internationale :    PCT/US2017/024580
Date de publication : 12.10.2017 Date de dépôt international : 28.03.2017
CIB :
G01R 1/18 (2006.01), G01R 1/04 (2006.01), G01R 31/16 (2006.01), G01R 31/26 (2014.01)
Déposants : CASCADE MICROTECH, INC. [US/US]; 9100 SW Gemini Drive Beaverton, OR 97008 (US)
Inventeurs : TEICH, Michael; (DE).
STOLL, Karsten; (DE).
CLAUSS, Walter Matthias; (DE).
SCHMIEDCHEN, Swen; (DE)
Mandataire : D'ASCENZO, David S.; (US)
Données relatives à la priorité :
15/094,716 08.04.2016 US
Titre (EN) SHIELDED PROBE SYSTEMS WITH CONTROLLED TESTING ENVIRONMENTS
(FR) SYSTÈMES DE SONDE BLINDÉS À ENVIRONNEMENTS DE TEST CONTRÔLÉS
Abrégé : front page image
(EN)Shielded probe systems are disclosed herein. The shielded probe systems are configured to test a device under test (DUT) and include an enclosure that defines an enclosure volume, a translation stage with a stage surface, a substrate-supporting stack extending from the stage surface, an electrically conductive shielding structure, an isolation structure, and a thermal shielding structure. The substrate-supporting stack includes an electrically conductive support surface and a temperature-controlled chuck. The electrically conductive shielding structure defines a shielded volume. The isolation structure electrically isolates the electrically conductive shielding structure from the enclosure and from the translation stage. The thermal shielding structure extends within the enclosure volume and at least partially between the enclosure and the substrate-supporting stack.
(FR)L'invention concerne des systèmes de sonde blindés. Les systèmes de sonde blindés sont configurés pour tester un dispositif à l'essai (DUT) et comprennent une enceinte qui définit un volume d'enceinte, une platine de translation ayant une surface de platine, un empilement de support de substrat s'étendant à partir de la surface de platine, une structure de blindage électroconductrice, une structure d'isolation et une structure de blindage thermique. L'empilement de support de substrat comprend une surface de support électroconductrice et un mandrin régulé en température. La structure de blindage électroconductrice définit un volume blindé. La structure d'isolation isole électriquement la structure de blindage électroconductrice par rapport à l'enceinte et à la platine de translation. La structure de blindage thermique s'étend à l'intérieur du volume d'enceinte et au moins partiellement entre l'enceinte et l'empilement de support de substrat.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)