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1. (WO2017176508) SYSTÈMES DE SONDE BLINDÉS À ENVIRONNEMENTS DE TEST CONTRÔLÉS

Pub. No.:    WO/2017/176508    International Application No.:    PCT/US2017/024580
Publication Date: Fri Oct 13 01:59:59 CEST 2017 International Filing Date: Wed Mar 29 01:59:59 CEST 2017
IPC: G01R 1/18
G01R 1/04
G01R 31/16
G01R 31/26
Applicants: CASCADE MICROTECH, INC.
Inventors: TEICH, Michael
STOLL, Karsten
CLAUSS, Walter Matthias
SCHMIEDCHEN, Swen
Title: SYSTÈMES DE SONDE BLINDÉS À ENVIRONNEMENTS DE TEST CONTRÔLÉS
Abstract:
L'invention concerne des systèmes de sonde blindés. Les systèmes de sonde blindés sont configurés pour tester un dispositif à l'essai (DUT) et comprennent une enceinte qui définit un volume d'enceinte, une platine de translation ayant une surface de platine, un empilement de support de substrat s'étendant à partir de la surface de platine, une structure de blindage électroconductrice, une structure d'isolation et une structure de blindage thermique. L'empilement de support de substrat comprend une surface de support électroconductrice et un mandrin régulé en température. La structure de blindage électroconductrice définit un volume blindé. La structure d'isolation isole électriquement la structure de blindage électroconductrice par rapport à l'enceinte et à la platine de translation. La structure de blindage thermique s'étend à l'intérieur du volume d'enceinte et au moins partiellement entre l'enceinte et l'empilement de support de substrat.