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1. (WO2017176282) RÉSINE PHOTOSENSIBLE DE CUISSON EN DEUX ÉTAPES AVEC EXTINCTEUR LIBÉRABLE

Pub. No.:    WO/2017/176282    International Application No.:    PCT/US2016/026599
Publication Date: 12 oct. 2017 International Filing Date: 8 avr. 2016
IPC: H01L 21/027
G03F 1/22
Applicants: INTEL CORPORATION
Inventors: BRISTOL, Robert L.
KRYSAK, Marie
BLACKWELL, James M.
GSTREIN, Florian
FRASURE, Kent N.
Title: RÉSINE PHOTOSENSIBLE DE CUISSON EN DEUX ÉTAPES AVEC EXTINCTEUR LIBÉRABLE
Abstract:
Cette invention concerne des résines photosensibles de cuisson en deux étapes avec des extincteurs libérables pour fabriquer des interconnexions de fin de ligne (BEOL). Selon un mode de réalisation donné à titre d'exemple, une composition photolysable comprend un matériau de résine photosensible pouvant être éliminé par un acide ayant une transparence sensible à une longueur d'onde, un constituant générateur de photo-acide (PAG) ayant une transparence sensible à ladite longueur d'onde, et un composant de génération de base ayant une absorptivité sensible à ladite longueur d'onde.