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1. (WO2017175573) CARTE SONDE
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N° de publication : WO/2017/175573 N° de la demande internationale : PCT/JP2017/011129
Date de publication : 12.10.2017 Date de dépôt international : 21.03.2017
CIB :
G01R 1/06 (2006.01) ,G01R 1/07 (2006.01) ,G01R 1/073 (2006.01) ,G01R 31/302 (2006.01) ,H01L 21/66 (2006.01)
[IPC code unknown for G01R 1/06][IPC code unknown for G01R 1/07][IPC code unknown for G01R 1/073][IPC code unknown for G01R 31/302][IPC code unknown for H01L 21/66]
Déposants :
株式会社日本マイクロニクス KABUSHIKI KAISHA NIHON MICRONICS [JP/JP]; 東京都武蔵野市吉祥寺本町二丁目6番8号 6-8, Kichijojihoncho 2-chome, Musashino-shi, Tokyo 1808508, JP
Inventeurs :
深見 美行 FUKAMI, Yoshiyuki; JP
清藤 英博 KIYOFUJI, Hidehiro; JP
小田部 昇 OTABE, Noboru; JP
Mandataire :
関口 正夫 SEKIGUCHI, Masao; JP
仲野 孝雅 NAKANO, Takamasa; JP
祐成 篤哉 SUKENARI, Atsuya; JP
Données relatives à la priorité :
2016-07850008.04.2016JP
Titre (EN) PROBE CARD
(FR) CARTE SONDE
(JA) プローブカード
Abrégé :
(EN) Provided is a probe card with which the adjustment of height deviations of needle tip parts of probes and the adjustment of parallelism between the probes and an object to be inspected are simplified. The probe card 1 has: a wiring substrate 2 having wiring 4 therein or on a surface thereof or the like; a plurality of probes 3; and a dielectric film 6. The dielectric film 6 is disposed to be spaced a distance away from a main surface 8 of the wiring substrate 2 at a position spaced away further from the wiring substrate 2 than the needle tip parts 13 of the probes 3, so that one surface 21 of the dielectric film 6 faces the needle tip parts 13 and faces the main surface 8 that is a probe installation surface of the wiring substrate 2. The probe card 1 configures a state in which the needle tip parts 13 face an electrode of an object to be inspected with the dielectric film 6 interposed between the probe card 1 and the needle tip parts 13, during an inspection of the object to be inspected. An inspection signal supplied from an inspection device to the probes 3 is set as an alternating current signal, and the probe card 1 causes capacitive coupling between the needle tip parts 13 and the electrode of the object to be inspected, and transmits the inspection signal.
(FR) L'invention concerne une carte sonde avec laquelle le réglage d'écarts de hauteur de parties pointe d'aiguille des sondes et le réglage du parallélisme entre les sondes et un objet à inspecter sont simplifiés. La carte sonde 1 comporte : un substrat de câblage 2 ayant un câblage 4 en son sein ou sur une surface de celui-ci ou analogue ; une pluralité de sondes 3 ; et un film diélectrique 6. Le film diélectrique 6 est disposé de façon à être espacé d'une distance donnée d'une surface principale 8 du substrat de câblage 2 au niveau d'une position plus espacée du substrat de câblage 2 que les parties pointe d'aiguille 13 des sondes 3, de telle sorte qu'une surface 1 du film diélectrique 6 soit face aux parties pointe d'aiguille 13 et soit face à la surface principale 8 qui est une surface d'installation de sonde du substrat de câblage 2. La carte sonde 1 configure un état dans lequel les parties pointe d'aiguille 13 sont face à une électrode d'un objet à inspecter, le film diélectrique 6 étant interposé entre la carte sonde 1 et les parties pointe d'aiguille 13, pendant une inspection de l'objet à inspecter. Un signal d'inspection fourni par un dispositif d'inspection aux sondes 3 est défini en tant que signal de courant alternatif, et la carte sonde 1 provoque un couplage capacitif entre les parties pointe d'aiguille 13 et l'électrode de l'objet à inspecter, et transmet le signal d'inspection.
(JA) プローブの針先部の高さばらつきの調整および被検査体との間の平行度の調整を簡便化するプローブカードを提供する。 プローブカード1は、内部や表面等に配線4を有する配線基板2と、複数のプローブ3と、誘電体膜6とを有する。誘電体膜6は、プローブ3の針先部13よりも配線基板2から離れた位置で、一方の面21が配線基板2のプローブ設置面である主面8と対向するとともに針先部13とも対向するように、配線基板2の主面8から間隔をおいて配置される。プローブカード1は、被検査体の検査時において、針先部13が誘電体膜6を挟んで被検査体の電極と対向する状態を構成する。検査装置からプローブ3に供給される検査信号を交流信号とし、プローブカード1は、針先部13と被検査体の電極とを容量結合させ、検査信号を伝送させる。
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Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)