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1. (WO2017175344) DISPOSITIF LASER À SOLIDE, SYSTÈME LASER À SOLIDE, ET DISPOSITIF LASER POUR DISPOSITIF D'EXPOSITION À LA LUMIÈRE
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N° de publication :    WO/2017/175344    N° de la demande internationale :    PCT/JP2016/061358
Date de publication : 12.10.2017 Date de dépôt international : 07.04.2016
CIB :
H01S 3/131 (2006.01), G02F 1/37 (2006.01), H01S 3/10 (2006.01)
Déposants : GIGAPHOTON INC. [JP/JP]; 400, Oaza Yokokurashinden, Oyama-shi, Tochigi 3238558 (JP)
Inventeurs : ONOSE, Takashi; (JP).
WAKABAYASHI, Osamu; (JP)
Mandataire : KYORITSU INSTITUTE; Amix Otsuka Building 2F, 2-25-1, Kita Otsuka, Toshima-ku, Tokyo 1700004 (JP)
Données relatives à la priorité :
Titre (EN) SOLID-STATE LASER DEVICE, SOLID-STATE LASER SYSTEM, AND LASER DEVICE FOR LIGHT EXPOSURE DEVICE
(FR) DISPOSITIF LASER À SOLIDE, SYSTÈME LASER À SOLIDE, ET DISPOSITIF LASER POUR DISPOSITIF D'EXPOSITION À LA LUMIÈRE
(JA) 固体レーザ装置、固体レーザシステム、及び露光装置用レーザ装置
Abrégé : front page image
(EN)This solid-state laser device is provided with: a seed laser that outputs a seed light which is a CW laser light; a light intensity varying part that, by changing the intensity of the seed light, pulses the seed light and outputs same as a seed pulse light; a CW excitation laser that outputs a CW excitation light; an amplifier that, on the basis of amplification gain that increases due to photoexcitation by the CW excitation light, amplifies the seed pulse light and outputs same as amplified light; a wavelength conversion part that performs wavelength conversion of the amplified light and outputs same as harmonic light; and a light intensity control part that controls the light intensity varying part in accordance with the input of an external trigger signal, said light intensity control part causing the light intensity varying part to output the seed pulse light after a fixed time has elapsed from the input of the external trigger signal, and to output a suppressed light, wherein the increase in amplification gain is suppressed, during a period from the output of the seed pulse light until the input of a subsequent external trigger signal.
(FR)L'invention concerne un dispositif laser à solide qui comporte : un laser germe qui émet une lumière germe qui est une lumière laser à ondes entretenues (CW) ; une partie de variation d'intensité lumineuse qui, par modification de l'intensité de la lumière germe, pulse la lumière germe et l'émet sous la forme de lumière germe pulsée ; un laser d'excitation CW qui émet une lumière d'excitation CW ; un amplificateur qui, sur la base d'un gain d'amplification qui augmente en raison d'une photo-excitation par la lumière d'excitation CW, amplifie la lumière germe pulsée et l'émet sous la forme de lumière amplifiée ; une partie de conversion de longueur d'onde qui effectue une conversion de longueur d'onde de la lumière amplifiée et l'émet sous la forme de lumière harmonique ; et une partie de commande d'intensité lumineuse qui commande la partie de variation d'intensité lumineuse en fonction d'un signal de déclenchement externe appliqué en entrée, ladite partie de commande d'intensité lumineuse amenant la partie de variation d'intensité lumineuse à émettre la lumière germe pulsée après écoulement d'un temps fixe à partir de l'application du signal de déclenchement externe, et à émettre une lumière supprimée, dans laquelle l'augmentation du gain d'amplification est supprimée, pendant une période allant de l'émission de la lumière germe pulsée à l'application d'un signal de déclenchement externe subséquent.
(JA)固体レーザ装置は、CWレーザ光であるシード光を出力するシードレーザと、シード光の光強度を変更することにより、シード光をパルス化してシードパルス光として出力する光強度可変部と、CW励起光を出力するCW励起レーザと、CW励起光による光励起により増加した増幅ゲインに基づいて、シードパルス光を増幅して増幅光として出力する増幅器と、増幅光を波長変換して高調波光を出力する波長変換部と、外部トリガ信号の入力に応じて光強度可変部を制御する光強度制御部であって、光強度可変部に、外部トリガ信号の入力から一定時間の経過後に、シードパルス光を出力させ、シードパルス光の出力後から次の外部トリガ信号の入力までの期間内に、増幅ゲインの増加を抑制させる抑制光を出力させる光強度制御部と、を備える。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)