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1. (WO2017175303) PROCÉDÉ DE MESURE DE FORME D'ÉCHANTILLON ET DISPOSITIF DE MESURE DE FORME D'ÉCHANTILLON

Pub. No.:    WO/2017/175303    International Application No.:    PCT/JP2016/061113
Publication Date: Fri Oct 13 01:59:59 CEST 2017 International Filing Date: Wed Apr 06 01:59:59 CEST 2016
IPC: G01B 11/24
G01B 11/26
Applicants: OLYMPUS CORPORATION
オリンパス株式会社
Inventors: SUZUKI Yoshimasa
鈴木良政
Title: PROCÉDÉ DE MESURE DE FORME D'ÉCHANTILLON ET DISPOSITIF DE MESURE DE FORME D'ÉCHANTILLON
Abstract:
L'invention concerne un procédé de mesure de forme d'échantillon qui comprend une étape (S10) dans laquelle une lumière d'éclairage qui passe à travers une région d'éclairage prédéterminée est préparée, une étape (S20) dans laquelle un échantillon est irradié avec la lumière d'éclairage, et une étape de traitement prédéterminé (S30). La région d'éclairage prédéterminée est définie de telle sorte que la zone d'une région dans laquelle la lumière d'éclairage passe à travers la pupille d'un système optique d'observation devient plus petite que la zone de la pupille du système optique d'observation. La lumière d'éclairage passe à travers l'échantillon, la lumière émise par l'échantillon entre dans le système optique d'observation, et l'étape de traitement prédéterminé (S30) comprend : une étape (S31) dans laquelle la lumière émise par le système optique d'observation est reçue ; une étape (S32) dans laquelle la position d'une image de la région d'éclairage prédéterminée est calculée à partir de la lumière reçue ; une étape (S33) dans laquelle la différence entre la position de l'image de la région d'éclairage prédéterminée et une position de référence est calculée ; et une étape (S34) dans laquelle une amplitude d'inclinaison dans la surface de l'échantillon est calculée à partir de la différence calculée.