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1. (WO2017174755) TAMPON DE LITHOGRAPHIE PAR EMPREINTE ET SON PROCÉDÉ DE FABRICATION ET D'UTILISATION
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N° de publication : WO/2017/174755 N° de la demande internationale : PCT/EP2017/058309
Date de publication : 12.10.2017 Date de dépôt international : 06.04.2017
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 : 25.09.2017
CIB :
G03F 7/00 (2006.01)
G PHYSIQUE
03
PHOTOGRAPHIE; CINÉMATOGRAPHIE; TECHNIQUES ANALOGUES UTILISANT D'AUTRES ONDES QUE DES ONDES OPTIQUES; ÉLECTROGRAPHIE; HOLOGRAPHIE
F
PRODUCTION PAR VOIE PHOTOMÉCANIQUE DE SURFACES TEXTURÉES, p.ex. POUR L'IMPRESSION, POUR LE TRAITEMENT DE DISPOSITIFS SEMI-CONDUCTEURS; MATÉRIAUX À CET EFFET; ORIGINAUX À CET EFFET; APPAREILLAGES SPÉCIALEMENT ADAPTÉS À CET EFFET
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Production par voie photomécanique, p.ex. photolithographique, de surfaces texturées, p.ex. surfaces imprimées; Matériaux à cet effet, p.ex. comportant des photoréserves; Appareillages spécialement adaptés à cet effet
Déposants :
KONINKLIJKE PHILIPS N.V. [NL/NL]; High Tech Campus 5 5656 AE Eindhoven, NL
Inventeurs :
VERSCHUUREN, Marcus, Antonius; NL
Mandataire :
MARSMAN, Albert, Willem; NL
DE HAAN, Poul, Erik; NL
Données relatives à la priorité :
16164085.906.04.2016EP
Titre (EN) IMPRINT LITHOGRAPHY STAMP METHOD OF MAKING AND USING THE SAME
(FR) TAMPON DE LITHOGRAPHIE PAR EMPREINTE ET SON PROCÉDÉ DE FABRICATION ET D'UTILISATION
Abrégé :
(EN) Disclosed is a stamp (14) for an imprint lithography process, the stamp comprising an elastomer stamp body including a polysiloxane bulk portion (110) and a patterned surface comprising a feature pattern (16) for imprinting an imprinting composition (12) wherein the elastomer stamp body comprises a basic organic amine in an amount of at least 0.1% by weight based on the total weight of the elastomer stamp body. Also disclosed are methods of manufacturing such a stamp, and a method of forming a patterned layer on a substrate using such a stamp.
(FR) L'invention concerne un tampon (14) pour un procédé de lithographie par empreinte, le tampon comprenant un corps de tampon élastomère comprenant une partie en vrac de polysiloxane (110) et une surface à motifs comprenant un motif de caractéristique (16) pour empreindre une composition d'empreinte (12), le corps de tampon élastomère comprenant une amine organique basique dans une quantité d'au moins 0,1 % en poids sur la base du poids total du corps de tampon élastomère. L'invention concerne également des procédés de fabrication d'un tel tampon, et un procédé de formation d'une couche à motifs sur un substrat à l'aide d'un tel tampon.
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États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)