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1. (WO2017174545) POLYMÈRES PHOTODURCISSABLES, COMPOSITIONS POLYMÈRES PHOTODURCISSABLES ET PROCÉDÉS LITHOGRAPHIQUES LES COMPRENANT

Pub. No.:    WO/2017/174545    International Application No.:    PCT/EP2017/057924
Publication Date: Fri Oct 13 01:59:59 CEST 2017 International Filing Date: Wed Apr 05 01:59:59 CEST 2017
IPC: C08G 75/23
B29C 67/00
Applicants: SOLVAY SPECIALTY POLYMERS USA, LLC
SOLVAY SA
Inventors: POLLINO, Joel
JEOL, Stéphane
Title: POLYMÈRES PHOTODURCISSABLES, COMPOSITIONS POLYMÈRES PHOTODURCISSABLES ET PROCÉDÉS LITHOGRAPHIQUES LES COMPRENANT
Abstract:
L'invention concerne des polymères photodurcissables pouvant être avantageusement utilisés dans des procédés de photofabrication. Des polymères de poly(aryl éther) fonctionnalisé (« PAE ») et des compositions polymères photodurcissables comprenant les polymères PAE fonctionnalisés qui peuvent être avantageusement incorporés dans des procédés lithographiques dans lesquels la lumière est utilisée pour durcir les polymères PAE fonctionnalisés. Les polymères PAE fonctionnalisés sont fonctionnalisés à l’aide d’un groupe de liaison. Le groupe de liaison est un groupe polymérisable, un groupe photoiniateur ou un groupe qui réagit aux oxiranes. Le polymère PAE fonctionnalisé peut être incorporé dans une composition polymère photodurcissable qui peut éventuellement comprendre un photoinitiateur. Les compositions polymères photodurcissables peuvent être avantageusement utilisées dans des procédés de photofabrication.