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1. (WO2017173870) BUSE ET DISPOSITIF DE GRAVURE
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N° de publication : WO/2017/173870 N° de la demande internationale : PCT/CN2017/070397
Date de publication : 12.10.2017 Date de dépôt international : 06.01.2017
CIB :
H01L 21/67 (2006.01)
Déposants : BOE TECHNOLOGY GROUP CO., LTD.[CN/CN]; No. 10 Jiuxianqiao Rd., Chaoyang District Beijing 100015, CN
HEFEI BOE OPTOELECTRONICS TECHNOLOGY CO., LTD.[CN/CN]; No. 2177, Tonglingbei Rd. New Railway Station District Hefei, Anhui 230012, CN
Inventeurs : DING, Xilong; CN
HUANG, Eryuan; CN
WANG, Chengsheng; CN
WU, Zhaozeng; CN
ZI, Yubao; CN
LIU, Zuhong; CN
Mandataire : TEE & HOWE INTELLECTUAL PROPERTY ATTORNEYS; CHEN, Yuan / 10th Floor, Tower D Minsheng Financial Center 28 Jianguomennei Avenue, Dongcheng District Beijing 100005, CN
Données relatives à la priorité :
201610206567.305.04.2016CN
Titre (EN) NOZZLE AND ETCHING DEVICE
(FR) BUSE ET DISPOSITIF DE GRAVURE
(ZH) 喷嘴和刻蚀装置
Abrégé : front page image
(EN) Provided are a nozzle used for an etching device, and an etching device comprising said nozzle The nozzle comprises: a hollow main body; one end of said main body is provided with a port, and the other end is provided with a main-body liquid outlet; the outside wall of the main body is provided with a main-body connecting part, and the one end of the main body is connected to a pipe by means of the port; a nozzle cover, comprising a nozzle-cover connecting part and a nozzle-cover liquid outlet; by means of the nozzle-cover connecting part and the main-body connecting part, the nozzle cover is connected to the outer side of that end of the main body provided with the main-body liquid outlet. In the direction in which liquid is dispensed from the main body, the nozzle cover may move with respect to the main body.
(FR) L'invention concerne une buse utilisée pour un dispositif de gravure, et un dispositif de gravure comprenant ladite buse. La buse comprend : un corps principal creux ; une extrémité dudit corps principal est pourvue d'un orifice, et l'autre extrémité est pourvue d'une sortie de liquide de corps principal ; la paroi extérieure du corps principal est pourvue d'une partie de liaison de corps principal, et ladite extrémité du corps principal est reliée à un tuyau au moyen de l'orifice ; un couvercle de buse, comprenant une partie de liaison de couvercle de buse et une sortie de liquide de couvercle de buse ; au moyen de la partie de liaison de couvercle de buse et de la partie de liaison de corps principal, le couvercle de buse est relié au côté externe de l'extrémité du corps principal pourvue de la sortie de liquide de corps principal. Dans la direction dans laquelle le liquide est distribué à partir du corps principal, le couvercle de buse peut se déplacer par rapport au corps principal.
(ZH) 提供了用于刻蚀装置的喷嘴和包括该喷嘴的刻蚀装置。所述喷嘴包括:中空的主体,所述主体一端设有接口,另一端设有主体出液口,所述主体外壁设有主体连接部,所述主体的所述一端通过接口与管道连接;和嘴套,包括嘴套连接部和嘴套出液口,所述嘴套通过所述嘴套连接部与所述主体连接部连接于所述主体设有主体出液口的一端的外侧。在沿所述主体出液的方向上,所述嘴套可相对于所述主体移动。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : chinois (ZH)
Langue de dépôt : chinois (ZH)