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1. (WO2017173588) PROCÉDÉS ET APPAREIL DE NETTOYAGE DE TRANCHES SEMI-CONDUCTRICES

Pub. No.:    WO/2017/173588    International Application No.:    PCT/CN2016/078510
Publication Date: Fri Oct 13 01:59:59 CEST 2017 International Filing Date: Thu Apr 07 01:59:59 CEST 2016
IPC: H01L 21/67
Applicants: ACM RESEARCH (SHANGHAI) INC.
Inventors: WANG, Jun
WANG, Hui
CHEN, Fufa
CHEN, Fuping
WANG, Jian
WANG, Xi
ZHANG, Xiaoyan
JIN, Yinuo
JIA, Zhaowei
XIE, Liangzhi
LI, Xuejun
Title: PROCÉDÉS ET APPAREIL DE NETTOYAGE DE TRANCHES SEMI-CONDUCTRICES
Abstract:
L'invention concerne un procédé de nettoyage d'un substrat semi-conducteur (1010, 2010) sans endommagement de la structure à motifs sur le substrat semi-conducteur (1010, 2010) à l'aide d'un dispositif à ultra/méga-sons (1003, 2003) consistant : à appliquer un liquide dans un espace entre un substrat (1010, 2010) et un dispositif à ultra/méga-sons (1003, 2003); à régler une alimentation électrique à ultra/méga-sons sur une fréquence f1 et une puissance P1 afin de commander le dispositif à ultra/méga-sons (1003, 2003); avant que la cavitation à bulles dans le liquide n'endommage la structure à motifs sur le substrat (1010, 2010), à régler l'alimentation électrique à ultra/méga-sons sur une sortie nulle; une fois la température intérieure de bulle refroidie à une température établie, à régler à nouveau l'alimentation électrique à ultra/méga-sons sur la fréquence f1 et la puissance P1; à détecter un temps de mise sous tension à la puissance P1 et à la fréquence f1 et un temps de mise hors tension séparément ou à détecter l'amplitude de chaque sortie de forme d'onde par l'alimentation électrique à ultra/méga-sons; à comparer le temps de mise sous tension détecté à un temps prédéfini T1, ou à comparer le temps de mise hors tension détecté à un temps prédéfini T2, ou à comparer l'amplitude détectée de chaque forme d'onde à une valeur pré-établie, si le temps de mise sous tension détecté est plus long que le temps prédéfini T1, ou le temps de mise hors tension détecté est plus court que le temps prédéfini T2, ou l'amplitude détectée de toute forme d'onde est supérieure à la valeur pré-établie, arrêter l'alimentation électrique à ultra/méga-sons et envoyer un signal d'alarme.