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1. (WO2017173533) PROCÉDÉS ET SYSTÈMES DE MESURE D'ÉPAISSEUR DE STRUCTURES MULTICOUCHES
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N° de publication :    WO/2017/173533    N° de la demande internationale :    PCT/CA2017/050409
Date de publication : 12.10.2017 Date de dépôt international : 04.04.2017
CIB :
G01B 15/02 (2006.01), G01B 11/06 (2006.01), G01S 13/10 (2006.01), G01S 17/10 (2006.01)
Déposants : TETECHS INC. [CA/CA]; 170 Columbia Street West, Suite 3 Waterloo, Ontario N2L 3L3 (CA)
Inventeurs : SAEEDKIA, Daryoosh; (CA).
HAILU, Daniel; (CA)
Mandataire : BERESKIN & PARR LLP/S.E.N.C.R.L., S.R.L.; 40 King Street West 40th Floor Toronto, Ontario M5H 3Y2 (CA)
Données relatives à la priorité :
62/317,890 04.04.2016 US
Titre (EN) METHODS AND SYSTEMS FOR THICKNESS MEASUREMENT OF MULTI-LAYER STRUCTURES
(FR) PROCÉDÉS ET SYSTÈMES DE MESURE D'ÉPAISSEUR DE STRUCTURES MULTICOUCHES
Abrégé : front page image
(EN)A system and method for measuring thicknesses of layers of a multi-layered structure, The method includes generating a terahertz wave pulse, transmitting the terahertz wave pulse to a multi-layered structure having multiple layers of materials, receiving reflected terahertz wave pulses reflected by boundaries between the multiple layers as the terahertz wave pulse penetrates the structure, and processing the reflected terahertz wave pulses to: (i) measure the time delays associated with each of the reflected terahertz pulses and (ii) determine a thickness of each of the multiple layers of materials based upon the time delay and a material refractive index of each of the materials.
(FR)L'invention concerne un système et un procédé qui permettent de mesurer des épaisseurs de couches d'une structure multicouche, le procédé consistant à générer une impulsion d'onde térahertz, à transmettre l'impulsion d'onde térahertz à une structure multicouche ayant plusieurs couches de matériaux, à recevoir des impulsions d'ondes térahertz réfléchies, celles-ci étant réfléchies par les limites entre les couches multiples à mesure que l'impulsion d'onde térahertz pénètre dans la structure, et à traiter les impulsions d'onde térahertz réfléchies : (i) pour mesurer les retards temporels associés à chacune des impulsions térahertz réfléchies et (ii) pour déterminer une épaisseur de chacune des multiples couches de matériaux sur la base du retard temporel et d'un indice de réfraction de matériau de chacun des matériaux.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)