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1. (WO2017172743) SYSTÈME ET PROCÉDÉ DE DÉFINITION DE CONCEPTIONS D'INTÉRÊT DANS DES STRUCTURES RÉPÉTITIVES DE DONNÉES DE CONCEPTION
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international    Formuler une observation

N° de publication :    WO/2017/172743    N° de la demande internationale :    PCT/US2017/024506
Date de publication : 05.10.2017 Date de dépôt international : 28.03.2017
CIB :
G01N 21/95 (2006.01), G06T 7/00 (2017.01), G06T 7/136 (2017.01)
Déposants : KLA-TENCOR CORPORATION [US/US]; Legal Department One Technology Drive Milpitas, California 95035 (US)
Inventeurs : HUANG, Junqing (Jenny); (US).
KONECKY, Soren; (US).
LEE, Hucheng; (US).
WU, Kenong; (US).
GAO, Lisheng; (US)
Mandataire : MCANDREWS, Kevin; (US).
MORRIS, Elizabeth M. N.; (US)
Données relatives à la priorité :
62/314,725 29.03.2016 US
15/351,813 15.11.2016 US
Titre (EN) SYSTEM AND METHOD FOR DEFINING DESIGNS OF INTEREST IN REPEATING STRUCTURES OF DESIGN DATA
(FR) SYSTÈME ET PROCÉDÉ DE DÉFINITION DE CONCEPTIONS D'INTÉRÊT DANS DES STRUCTURES RÉPÉTITIVES DE DONNÉES DE CONCEPTION
Abrégé : front page image
(EN)A method includes identifying a first set of a first care area with a first sensitivity threshold, the first care area associated with a first design of interest within a block of repeating cells in design data; identifying an additional set of an additional care area with an additional sensitivity threshold, the additional care area associated with an additional design of interest within the block of repeating cells in design data; identifying one or more defects within the first set of the first care areas in one or more images of a selected region of a sample based on the first sensitivity threshold; and identifying one or more defects within the additional set of the additional care areas in the one or more images of the selected region of the sample based on the additional sensitivity threshold.
(FR)Procédé consistant à identifier un premier ensemble d'une première zone de soins ayant un premier seuil de sensibilité, la première zone de soins étant associée à une première conception d'intérêt dans un bloc de cellules répétitives dans des données de conception ; identifier un ensemble supplémentaire d'une zone de soins supplémentaire ayant un seuil de sensibilité supplémentaire, la zone de soins supplémentaire étant associée à une conception supplémentaire d'intérêt dans le bloc de cellules répétitives dans des données de conception ; identifier un ou plusieurs défauts dans le premier ensemble des premières zones de soins dans une ou plusieurs images d'une région sélectionnée d'un échantillon sur la base du premier seuil de sensibilité ; et identifier un ou plusieurs défauts dans l'ensemble supplémentaire des zones de soins supplémentaires dans la ou les images de la région sélectionnée de l'échantillon sur la base du seuil de sensibilité supplémentaire.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)