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1. (WO2017172743) SYSTÈME ET PROCÉDÉ DE DÉFINITION DE CONCEPTIONS D'INTÉRÊT DANS DES STRUCTURES RÉPÉTITIVES DE DONNÉES DE CONCEPTION

Pub. No.:    WO/2017/172743    International Application No.:    PCT/US2017/024506
Publication Date: Fri Oct 06 01:59:59 CEST 2017 International Filing Date: Wed Mar 29 01:59:59 CEST 2017
IPC: G01N 21/95
G06T 7/00
G06T 7/136
Applicants: KLA-TENCOR CORPORATION
Inventors: HUANG, Junqing (Jenny)
KONECKY, Soren
LEE, Hucheng
WU, Kenong
GAO, Lisheng
Title: SYSTÈME ET PROCÉDÉ DE DÉFINITION DE CONCEPTIONS D'INTÉRÊT DANS DES STRUCTURES RÉPÉTITIVES DE DONNÉES DE CONCEPTION
Abstract:
Procédé consistant à identifier un premier ensemble d'une première zone de soins ayant un premier seuil de sensibilité, la première zone de soins étant associée à une première conception d'intérêt dans un bloc de cellules répétitives dans des données de conception ; identifier un ensemble supplémentaire d'une zone de soins supplémentaire ayant un seuil de sensibilité supplémentaire, la zone de soins supplémentaire étant associée à une conception supplémentaire d'intérêt dans le bloc de cellules répétitives dans des données de conception ; identifier un ou plusieurs défauts dans le premier ensemble des premières zones de soins dans une ou plusieurs images d'une région sélectionnée d'un échantillon sur la base du premier seuil de sensibilité ; et identifier un ou plusieurs défauts dans l'ensemble supplémentaire des zones de soins supplémentaires dans la ou les images de la région sélectionnée de l'échantillon sur la base du seuil de sensibilité supplémentaire.