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1. (WO2017172730) SYSTÈMES ET PROCÉDÉS DE DÉTECTION ET DE MODÉLISATION AUTOMATISÉES DE MULTIPLES ZONES

Pub. No.:    WO/2017/172730    International Application No.:    PCT/US2017/024490
Publication Date: Fri Oct 06 01:59:59 CEST 2017 International Filing Date: Wed Mar 29 01:59:59 CEST 2017
IPC: H01L 21/66
Applicants: KLA-TENCOR CORPORATION
Inventors: NABETH, Jeremy
DEMIRER, Onur N.
KARUR-SHANMUGAM, Ramkumar
HOO, George (Choon)
SPARKA, Christian
HEO, Hoyoung
SHERWIN, Stuart
ANIS, Fatima
SMITH, Mark D.
PIERSON, Wiliam (Bill)
Title: SYSTÈMES ET PROCÉDÉS DE DÉTECTION ET DE MODÉLISATION AUTOMATISÉES DE MULTIPLES ZONES
Abstract:
Un outil semi-conducteur comprend : une source d’éclairage pour générer un faisceau d’éclairage ; un ou plusieurs éléments optiques d’éclairage pour diriger une partie du faisceau d’éclairage vers un échantillon ; un détecteur ; un ou plusieurs éléments optiques de collecte pour diriger un rayonnement émanant de l’échantillon vers le détecteur ; et un contrôleur couplé de manière communicative au détecteur. Le contrôleur est configuré pour : mesurer un alignement en une pluralité de positions dans l’échantillon pour générer des données d’alignement, sélectionner une zone d’analyse pour déterminer une zone d’alignement, diviser la zone d’analyse en deux zones d’alignement ou plus ayant différentes signatures d’alignement ; modéliser les données d’alignement d’au moins une première zone d’alignement des deux zones d’alignement ou plus à l’aide d’un premier modèle d’alignement et modéliser les données d’alignement d’au moins une seconde zone d’alignement des deux zones d’alignement ou plus à l’aide d’un second modèle d’alignement différent du premier modèle d’alignement.