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1. (WO2017172618) COMPOSITION HYDROGÉNÉE DE GAZ SOURCE DE DOPANT DE TYPE TRIFLUORURE DE BORE ENRICHI ISOTOPIQUEMENT
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N° de publication : WO/2017/172618 N° de la demande internationale : PCT/US2017/024312
Date de publication : 05.10.2017 Date de dépôt international : 27.03.2017
CIB :
C01B 35/06 (2006.01) ,H01J 37/08 (2006.01) ,H01J 37/317 (2006.01)
C CHIMIE; MÉTALLURGIE
01
CHIMIE INORGANIQUE
B
ÉLÉMENTS NON MÉTALLIQUES; LEURS COMPOSÉS
35
Bore; Ses composés
06
Composés borohalogénés
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
J
TUBES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE OU LAMPES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE
37
Tubes à décharge pourvus de moyens permettant l'introduction d'objets ou d'un matériau à exposer à la décharge, p.ex. pour y subir un examen ou un traitement
02
Détails
04
Dispositions des électrodes et organes associés en vue de produire ou de commander la décharge, p.ex. dispositif électronoptique, dispositif ionoptique
08
Sources d'ions; Canons à ions
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
J
TUBES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE OU LAMPES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE
37
Tubes à décharge pourvus de moyens permettant l'introduction d'objets ou d'un matériau à exposer à la décharge, p.ex. pour y subir un examen ou un traitement
30
Tubes à faisceau électronique ou ionique destinés aux traitements localisés d'objets
317
pour modifier les propriétés des objets ou pour leur appliquer des revêtements en couche mince, p.ex. implantation d'ions
Déposants :
ENTEGRIS, INC. [US/US]; 129 Concord Road, Building 2 Billerica, MA 01821, US
Inventeurs :
BISHOP, Steven; US
YEDAVE, Sharad N.; US
BLY, Oleg; US
SWEENEY, Joseph; US
TANG, Ying; US
Mandataire :
GATES, Catherine D.; US
Données relatives à la priorité :
62/314,24128.03.2016US
Titre (EN) HYDROGENATED ISOTOPICALLY ENRICHED BORONT TRIFLUORIDE DOPANT SOURCE GAS COMPOSITION
(FR) COMPOSITION HYDROGÉNÉE DE GAZ SOURCE DE DOPANT DE TYPE TRIFLUORURE DE BORE ENRICHI ISOTOPIQUEMENT
Abrégé :
(EN) A hydrogenated isotopically enriched boron trifluoride (BF3) dopant source gas composition. The composition contains (i) boron trifluoride isotopically enriched above natural abundance in boron of atomic mass 11 (UB), and (ii) hydrogen in an amount of from 2 to 6.99 vol.%, based on total volume of boron trifluoride and hydrogen in the composition. Also described are methods of use of such dopant source gas composition, and associated apparatus therefor.
(FR) La présente invention concerne une composition hydrogénée de gaz source de dopant de type trifluorure de bore (BF3) enrichi isotopiquement. La composition contient (i) du trifluorure de bore isotopiquement enrichi au-dessus de l'abondance naturelle en bore de masse atomique 11 (UB), et (ii) de l'hydrogène en une quantité de 2 à 6,99% en volume, sur la base du volume total du trifluorure de bore et de l'hydrogène dans la composition. L'invention concerne également des procédés d'utilisation d'une telle composition de gaz source de dopant, et un appareil associé.
front page image
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)