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1. (WO2017172540) SYSTÈME ET PROCÉDÉ D’ACCORD SPECTRAL DE SOURCES DE LUMIÈRE À LARGE BANDE
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N° de publication : WO/2017/172540 N° de la demande internationale : PCT/US2017/024157
Date de publication : 05.10.2017 Date de dépôt international : 24.03.2017
CIB :
G01N 21/31 (2006.01)
[IPC code unknown for G01N 21/31]
Déposants :
KLA-TENCOR CORPORATION [US/US]; Legal Department One Technology Drive Milpitas, California 95035, US
Inventeurs :
HILL, Andrew; US
MANASSEN, Amnon; IL
BACHAR, Ohad; IL
Mandataire :
MCANDREWS, Kevin; US
MORRIS, Elizabeth M. N.; US
Données relatives à la priorité :
15/339,31231.10.2016US
62/314,36428.03.2016US
62/365,12921.07.2016US
Titre (EN) SYSTEM AND METHOD FOR SPECTRAL TUNING OF BROADBAND LIGHT SOURCES
(FR) SYSTÈME ET PROCÉDÉ D’ACCORD SPECTRAL DE SOURCES DE LUMIÈRE À LARGE BANDE
Abrégé :
(EN) A tunable spectral filter includes a first tunable dispersive element, a first optical element, a spatial filtering element located at the focal plane, a second optical element, and a second dispersive element. The first tunable dispersive element introduces spectral dispersion to an illumination beam with an adjustable dispersion. The first optical element focuses the illumination beam at a focal plane in which a distribution of a spectrum of the spectrally-dispersed illumination beam at the focal plane is controllable by adjusting the dispersion of the first tunable dispersive element. The spatial filtering element filters the spectrum of the illumination beam based on the distribution of the spectrum of the illumination beam at the focal plane. The second optical element collects the spectrally-dispersed illumination beam transmitted from the spatial filtering element. The second tunable dispersive element removes the dispersion introduced by the first tunable dispersive element from the illumination beam.
(FR) Un filtre spectral accordable comprend un premier élément dispersif accordable, un premier élément optique, un élément de filtrage spatial situé dans le plan focal, un second élément optique et un second élément dispersif. Le premier élément dispersif accordable introduit une dispersion spectrale dans un faisceau d’éclairage avec une dispersion réglable. Le premier élément optique focalise le faisceau d’éclairage sur un plan focal dans lequel une distribution d’un spectre du faisceau d’éclairage à dispersion spectrale sur le plan focal peut être commandée par le réglage de la dispersion du premier élément dispersif accordable. L’élément de filtrage spatial filtre le spectre du faisceau d’éclairage sur la base de la distribution du spectre du faisceau d’éclairage sur le plan focal. Le second élément optique collecte le faisceau d’éclairage à dispersion spectrale transmis depuis l’élément de filtrage spatial. Le second élément dispersif accordable supprime du faisceau d’éclairage la dispersion introduite par le premier élément dispersif accordable.
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Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)