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1. (WO2017172531) APPAREIL ET PROCÉDÉ DE DÉPÔT DE COUCHE ATOMIQUE ROULEAU-À-ROULEAU

Pub. No.:    WO/2017/172531    International Application No.:    PCT/US2017/024096
Publication Date: Fri Oct 06 01:59:59 CEST 2017 International Filing Date: Sat Mar 25 00:59:59 CET 2017
IPC: C23C 16/54
C23C 16/455
Applicants: 3M INNOVATIVE PROPERTIES COMPANY
Inventors: LYONS, Christopher S.
DODGE, Bill H.
SPAGNOLA, Joseph C.
JERRY, Glen A.
GOYAL, Ameeta R.
SWANSON, Ronald P.
DOBBS, James N.
Title: APPAREIL ET PROCÉDÉ DE DÉPÔT DE COUCHE ATOMIQUE ROULEAU-À-ROULEAU
Abstract:
La présente invention concerne un procédé. Le procédé peut inclure la mise en prise d'une première région de bord sur une première surface d'un substrat avec un premier rouleau de soutien ; la mise en prise d'une seconde région de bord sur la première surface du substrat avec un second rouleau de soutien ; le transport du substrat sur les premier et second rouleaux de support ; la répétition de la séquence suivante d'étapes pour former une couche mince sur le substrat : (a) exposition du substrat à un premier précurseur ; (b) mise à disposition d'une espèce réactive au niveau du substrat après exposition du substrat au premier précurseur ; et le dépôt d'une vapeur sur la couche mince pour former un revêtement sur la couche mince.