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1. (WO2017172160) DÉTECTION DE PORES ET DE DÉCOLLEMENT DANS UNE COUCHE DE RÉSINE PHOTOSENSIBLE

Pub. No.:    WO/2017/172160    International Application No.:    PCT/US2017/019684
Publication Date: Fri Oct 06 01:59:59 CEST 2017 International Filing Date: Tue Feb 28 00:59:59 CET 2017
IPC: G01N 21/88
G01N 21/17
Applicants: INTEL CORPORATION
Inventors: GHOSH, Nilanjan
GOYAL, Deepak
CHENG, Jing
ARANA, Leonel R.
Title: DÉTECTION DE PORES ET DE DÉCOLLEMENT DANS UNE COUCHE DE RÉSINE PHOTOSENSIBLE
Abstract:
L'invention concerne un système pour détecter un pore dans une couche de résine photosensible, lequel peut comprendre : un détecteur, un processeur et une mémoire. Le détecteur peut être disposé pour recevoir de la lumière réfléchie depuis une surface d'un échantillon. Le processeur peut se trouver en communication électrique avec le détecteur. La mémoire peut stocker des instructions qui, lorsqu'elles sont exécutées par le processeur, peuvent amener le processeur à réaliser certaines opérations. Les opérations peuvent comprendre : réception de données optiques de la part du détecteur, réception de données étalonnées et détermination de l'existence du pore. Les données optiques peuvent contenir des informations concernant une signature de la lumière réfléchie. Les données étalonnées peuvent contenir des informations concernant une signature pour un échantillon connu de résine photosensible. La détermination de l'existence du pore peut se baser sur un écart des données optiques par rapport aux données étalonnées.