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1. (WO2017172160) DÉTECTION DE PORES ET DE DÉCOLLEMENT DANS UNE COUCHE DE RÉSINE PHOTOSENSIBLE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international    Formuler une observation

N° de publication :    WO/2017/172160    N° de la demande internationale :    PCT/US2017/019684
Date de publication : 05.10.2017 Date de dépôt international : 27.02.2017
CIB :
G01N 21/88 (2006.01), G01N 21/17 (2006.01)
Déposants : INTEL CORPORATION [US/US]; 2200 Mission College Boulevard Santa Clara, California 95054 (US)
Inventeurs : GHOSH, Nilanjan; (US).
GOYAL, Deepak; (US).
CHENG, Jing; (US).
ARANA, Leonel R.; (US)
Mandataire : WOO, Justin N.; (US).
GOULD, James R., Reg. No. 72,086; (US).
SCHEER, Bradley W., Reg. No. 47,059; (US).
MCCRACKIN, Ann M., Reg. No. 42,858; (US).
PERDOK, Monique M., Reg. No. 42,989; (US).
BEEKMAN, Marvin L., Reg. No. 38,377; (US).
ARORA, Suneel, Reg. No. 42,267; (US).
BLACK, David W., Reg. No. 42,331; (US).
BIANCHI, Timothy E., Reg. No. 39,610; (US)
Données relatives à la priorité :
15/083,883 29.03.2016 US
Titre (EN) DETECTING VOIDS AND DELAMINATION IN PHOTORESIST LAYER
(FR) DÉTECTION DE PORES ET DE DÉCOLLEMENT DANS UNE COUCHE DE RÉSINE PHOTOSENSIBLE
Abrégé : front page image
(EN)A system for detecting a void in a photoresist layer can include: a detector, a processor, and a memory. The detector can be arranged to receive reflected light from a surface of a sample. The processor can be in electrical communication with the detector. The memory can store instructions that, when executed by the processor, can cause the processor to perform operations. The operations can comprise: receiving optical data from the detector, receiving calibrated data, and determining an existence of the void. the optical data can include information regarding a signature of the reflected light. The calibrated data can include information regarding a signature for a known sample of photoresist. The determination of the existence of the void can be based on a deviation of the optical data from the calibrated data.
(FR)L'invention concerne un système pour détecter un pore dans une couche de résine photosensible, lequel peut comprendre : un détecteur, un processeur et une mémoire. Le détecteur peut être disposé pour recevoir de la lumière réfléchie depuis une surface d'un échantillon. Le processeur peut se trouver en communication électrique avec le détecteur. La mémoire peut stocker des instructions qui, lorsqu’elles sont exécutées par le processeur, peuvent amener le processeur à réaliser certaines opérations. Les opérations peuvent comprendre : réception de données optiques de la part du détecteur, réception de données étalonnées et détermination de l'existence du pore. Les données optiques peuvent contenir des informations concernant une signature de la lumière réfléchie. Les données étalonnées peuvent contenir des informations concernant une signature pour un échantillon connu de résine photosensible. La détermination de l'existence du pore peut se baser sur un écart des données optiques par rapport aux données étalonnées.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)