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1. (WO2017172059) DISPOSITIFS DE COMMUTATION INTÉGRÉS À UN BOÎTIER PIÉZOÉLECTRIQUE

Pub. No.:    WO/2017/172059    International Application No.:    PCT/US2017/017226
Publication Date: Fri Oct 06 01:59:59 CEST 2017 International Filing Date: Fri Feb 10 00:59:59 CET 2017
IPC: H01H 57/00
H01L 41/09
H01L 41/047
H01L 41/083
Applicants: INTEL CORPORATION
Inventors: DOGIAMIS, Georgios C.
EID, Feras
ELSHERBINI, Adel A.
NAIR, Vijay K.
KAMGAING, Telesphor
RAO, Valluri R.
SWAN, Johanna M.
Title: DISPOSITIFS DE COMMUTATION INTÉGRÉS À UN BOÎTIER PIÉZOÉLECTRIQUE
Abstract:
Selon divers modes de réalisation, l'invention concerne un dispositif de commutation qui comprend une électrode, un matériau piézoélectrique couplé à l'électrode, et une structure mobile (par exemple, porte-à-faux, poutre) accouplée au matériau piézoélectrique. La structure mobile comprend une première extrémité accouplée à une ancre d'un substrat de boîtier comportant des couches organiques, et une seconde extrémité libre positionnée à l'intérieur d'une cavité du substrat de boîtier.