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1. (WO2017171862) ACTIONNEURS PIÉZOÉLECTRIQUES POUR DES APPLICATIONS D'ORIENTATION DE FAISCEAU OPTIQUE

Pub. No.:    WO/2017/171862    International Application No.:    PCT/US2016/025667
Publication Date: Fri Oct 06 01:59:59 CEST 2017 International Filing Date: Sat Apr 02 01:59:59 CEST 2016
IPC: G02B 26/08
G02B 1/10
H01S 3/034
Applicants: INTEL CORPORATION
Inventors: ALEKSOV, Aleksandar
EID, Feras
OSTER, Sasha N.
LIFF, Shawna M.
SWAN, Johanna M.
SOUNART, Thomas L.
BICEN, Baris
RAO, Valluri R.
Title: ACTIONNEURS PIÉZOÉLECTRIQUES POUR DES APPLICATIONS D'ORIENTATION DE FAISCEAU OPTIQUE
Abstract:
L'invention porte, dans des modes de réalisation, sur des outils d'imagerie sans masque et sur des systèmes d'affichage qui comprennent des miroirs à actionnement piézoélectrique ainsi que sur des procédés de formation de tels dispositifs. Selon un mode de réalisation, l'outil d'imagerie sans masque peut comprendre une source de lumière. De plus, l'outil peut comprendre un ou plusieurs miroirs à actionnement piézoélectrique destinés à recevoir de la lumière provenant de la source de lumière. Selon un mode de réalisation, les miroirs à actionnement piézoélectrique peuvent être actionnés autour d'un ou de plusieurs axes pour réfléchir la lumière provenant de la source de lumière vers une pièce à travailler positionnée de sorte à recevoir de la lumière provenant du miroir à actionnement piézoélectrique. Des modes de réalisation supplémentaires de l'invention peuvent comprendre un outil d'imagerie sans masque qui est un outil de lithographie par imagerie directe au laser (LDIL pour Laser Direct Imaging Lithography). D'autres modes de réalisation peuvent comprendre un outil d'imagerie sans masque qui est un outil de forage de trou d'interconnexion. Des modes de réalisation de l'invention peuvent également comprendre un miroir à actionnement piézoélectrique utilisé dans un système de projection. Par exemple, le système de projection peut être intégré dans une paire de lunettes.