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1. (WO2017171052) SUPPORT ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE SUBSTRAT UTILISANT CE SUPPORT

Pub. No.:    WO/2017/171052    International Application No.:    PCT/JP2017/013739
Publication Date: Fri Oct 06 01:59:59 CEST 2017 International Filing Date: Sat Apr 01 01:59:59 CEST 2017
IPC: B24B 37/28
B24B 7/17
B24B 41/06
G11B 5/84
H01L 21/304
Applicants: HOYA CORPORATION
HOYA株式会社
HOYA LAMPHUN LTD.
ホーヤ ランプーン リミテッド
Inventors: PROMCHAI, Jaknarin
プロムチャイ ジャクナリン
Title: SUPPORT ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE SUBSTRAT UTILISANT CE SUPPORT
Abstract:
[Problème] Fournir un support qui permet d'obtenir un substrat de haute qualité avec un rendement supérieur par rapport aux supports conventionnels et un procédé de fabrication de substrat utilisant ce support. [Solution] Un support 104 selon la présente invention est un support pour polissage ou meulage ayant un trou de support 122 pour maintenir un substrat (par exemple, un substrat en verre 102). Le support est caractérisé en ce qu'une pluralité de saillies 136 comportant du verre en tant que composant principal sont présentes dans au moins une région partielle d'au moins une surface du support.