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1. (WO2017171052) SUPPORT ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE SUBSTRAT UTILISANT CE SUPPORT
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N° de publication :    WO/2017/171052    N° de la demande internationale :    PCT/JP2017/013739
Date de publication : 05.10.2017 Date de dépôt international : 31.03.2017
CIB :
B24B 37/28 (2012.01), B24B 7/17 (2006.01), B24B 41/06 (2012.01), G11B 5/84 (2006.01), H01L 21/304 (2006.01)
Déposants : HOYA CORPORATION [JP/JP]; 6-10-1 Nishi-Shinjuku, Shinjuku-ku, Tokyo 1608347 (JP).
HOYA GLASS DISK (THAILAND) LTD. [TH/TH]; 60/26, Moo 4 Tambol Banklang, Amphur Muang, Lamphun 51000 (TH)
Inventeurs : PROMCHAI, Jaknarin; (TH)
Mandataire : AQUA PATENTS, DESIGNS AND TRADEMARKS; Murayama Bldg. 4th Floor, 5-12, Kanda-Sudacho 1-Chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1010041 (JP)
Données relatives à la priorité :
2016-073512 31.03.2016 JP
2016-073513 31.03.2016 JP
Titre (EN) CARRIER AND SUBSTRATE MANUFACTURING METHOD USING THIS CARRIER
(FR) SUPPORT ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE SUBSTRAT UTILISANT CE SUPPORT
(JA) キャリアおよび当該キャリアを用いた基板の製造方法
Abrégé : front page image
(EN)[Problem] To provide a carrier which makes it possible to obtain a high-quality substrate at a higher yield than conventional ones and a substrate manufacturing method using this carrier. [Solution] A carrier 104 according to the present invention is a carrier for polishing or grinding having a holding hole 122 for holding a substrate (for example, a glass substrate 102). The carrier is characterized in that a plurality of protrusions 136 having glass as a main component are present in at least a partial region of at least one surface of the carrier.
(FR)[Problème] Fournir un support qui permet d'obtenir un substrat de haute qualité avec un rendement supérieur par rapport aux supports conventionnels et un procédé de fabrication de substrat utilisant ce support. [Solution] Un support 104 selon la présente invention est un support pour polissage ou meulage ayant un trou de support 122 pour maintenir un substrat (par exemple, un substrat en verre 102). Le support est caractérisé en ce qu'une pluralité de saillies 136 comportant du verre en tant que composant principal sont présentes dans au moins une région partielle d'au moins une surface du support.
(JA)【課題】高品質の基板を従来より高い歩留りで得ることができるキャリアおよび当該キャリアを用いた基板の製造方法を提供する。 【解決手段】本発明にかかるキャリア104は、基板(例えばガラス基板102)を保持するための保持孔122を有する研磨用又は研削用のキャリアであって、キャリアの少なくとも一方の表面の少なくとも一部の領域には、ガラスを主成分とする突起136が複数存在していることを特徴とする。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)