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1. (WO2017170647) DISPOSITIF DE RÉGULATION DE PRESSION ET SYSTÈME DE RÉGULATION DE PRESSION
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N° de publication :    WO/2017/170647    N° de la demande internationale :    PCT/JP2017/012823
Date de publication : 05.10.2017 Date de dépôt international : 29.03.2017
CIB :
G05D 16/20 (2006.01), G05D 7/06 (2006.01)
Déposants : FUJIKIN INCORPORATED [JP/JP]; 2-3-2, Itachibori, Nishi-ku, Osaka-shi, Osaka 5500012 (JP)
Inventeurs : NOZAWA, Takahiro; (JP).
KANAI, Yoshitomo; (JP).
NAKAMURA, Takeshi; (JP)
Mandataire : WILLFORT INTERNATIONAL PATENT FIRM; Nihonbashi TC Bldg. 1F, 19-7, Nihonbashi Koamicho, Chuo-ku, Tokyo 1030016 (JP)
Données relatives à la priorité :
2016-068159 30.03.2016 JP
Titre (EN) PRESSURE CONTROL DEVICE AND PRESSURE CONTROL SYSTEM
(FR) DISPOSITIF DE RÉGULATION DE PRESSION ET SYSTÈME DE RÉGULATION DE PRESSION
(JA) 圧力制御装置および圧力制御システム
Abrégé : front page image
(EN)Provided are a pressure control device and a pressure control system with which the pressure within a chamber can be maintained at a constant level quickly even if the volume of the chamber relative to a gas control flow rate is large or a pipe between a flow rate control valve and the chamber is long. A pressure control device 1 comprises: a CPU 18 that subtracts, at a predetermined ratio, a flow rate signal from a set pressure signal when gas is being supplied into a chamber 3 in order to set the inside of the chamber 3 to a negative pressure; a comparator circuit 21 that compares a detected pressure signal indicating the pressure within the chamber 3 that was detected by a pressure sensor 4 and the set pressure signal from which the flow rate signal has been subtracted; and a valve drive circuit 22 that controls a flow rate control valve 14 on the basis of the comparison results obtained by the comparator circuit 21.
(FR)L'invention concerne un dispositif de régulation de pression et un système de régulation de pression avec lesquels la pression à l'intérieur d'une chambre peut être rapidement maintenue à un niveau constant même si le volume de la chambre par rapport à un débit de régulation de gaz est important ou même si un tuyau entre une soupape de régulation de débit et la chambre est long. Un dispositif de régulation de pression 1 comporte : une unité centrale 18 qui soustrait, selon un rapport prédéterminé, un signal de débit en provenance d'un signal de pression défini quand du gaz est introduit dans une chambre 3 afin de régler l'intérieur de la chambre 3 à une pression négative; un circuit comparateur 21 qui compare un signal de pression détectée indiquant la pression à l'intérieur de la chambre 3 qui a été détectée par un capteur de pression 4 et le signal de la pression réglée en provenance duquel le signal de débit a été soustrait; et un circuit de commande de soupape 22 qui commande une soupape de régulation de débit 14 en fonction des résultats de comparaison obtenus par le circuit comparateur 21.
(JA)ガスの制御流量に対してチャンバの容積が大きい場合、あるいは流量制御バルブとチャンバとの間の配管が長い場合であっても、チャンバ内の圧力を早期に一定に保つことが可能な圧力制御装置および圧力制御システムを提供する。 圧力制御装置1は、チャンバ3内を負圧にするためにチャンバ3内へガスが供給されている場合、設定圧力信号から流量信号を所定の比率で減算するCPU18と、圧力センサ4により検出されたチャンバ3内の圧力を示す検出圧力信号と、減算された設定圧力信号とを比較する比較回路21と、比較回路21による比較結果に基づき流量制御バルブ14を制御するバルブ駆動回路22と、を備える。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)