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1. (WO2017170616) FILM PIÉZOÉLECTRIQUE DE TYPE BIMORPHE

Pub. No.:    WO/2017/170616    International Application No.:    PCT/JP2017/012768
Publication Date: Fri Oct 06 01:59:59 CEST 2017 International Filing Date: Wed Mar 29 01:59:59 CEST 2017
IPC: H01L 41/193
B32B 7/02
B32B 27/30
H01L 41/113
Applicants: DAIKIN INDUSTRIES, LTD.
ダイキン工業株式会社
Inventors: KODANI, Tetsuhiro
小谷 哲浩
SAKAMI, Saori
酒見 沙織
SAGAMI, Hiroyuki
相模 寛之
YAMADA, Takaya
山田 貴哉
BITOU, Shinya
尾藤 慎也
MUKAI, Eri
向井 恵吏
KANEMURA, Takashi
金村 崇
Title: FILM PIÉZOÉLECTRIQUE DE TYPE BIMORPHE
Abstract:
La présente invention vise à fournir un film piézoélectrique de type bimorphe qui permet de fournir un capteur sensible à la pression et similaire qui ne sont pas sensibles à l'influence d'un bruit pyroélectrique dû à des variations de température. La présente invention concerne un film piézoélectrique de type bimorphe comprenant un premier film pyroélectrique ayant une anisotropie piézoélectrique dans une direction dans le plan, et un second film pyroélectrique ayant une anisotropie piézoélectrique dans la direction dans le plan, le premier film pyroélectrique et le second film pyroélectrique étant agencés de telle sorte que leurs surfaces respectives sur lesquelles sont produites des charges de la même polarité par une augmentation de température sont sur l'extérieur.