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1. (WO2017170393) SONDEUR ET PROCÉDÉ DE FONCTIONNEMENT DE SONDEUR

Pub. No.:    WO/2017/170393    International Application No.:    PCT/JP2017/012377
Publication Date: Fri Oct 06 01:59:59 CEST 2017 International Filing Date: Tue Mar 28 01:59:59 CEST 2017
IPC: H01L 21/66
G01R 31/28
Applicants: TOKYO SEIMITSU CO., LTD.
株式会社東京精密
Inventors: MORI, Toshiro
森 敏郎
NISHIDA, Tomoya
西田 智哉
Title: SONDEUR ET PROCÉDÉ DE FONCTIONNEMENT DE SONDEUR
Abstract:
L'invention concerne un sondeur et un procédé de fonctionnement de sondeur permettant d'empêcher une collision entre une sonde et une caméra de détection de position de sonde. Le sondeur 10 permettant d'effectuer une inspection en amenant une sonde 25 à entrer en contact avec une électrode d'une tranche W est pourvu : d'une caméra de détection de position de sonde 18 qui détecte une position d'extrémité de pointe de la sonde 25 pour un positionnement relatif de l'électrode de la tranche W et de la sonde 25 ; d'un détecteur de hauteur de sonde 20 qui est disposé séparément de la caméra de détection de position de sonde 18 et qui détecte la hauteur d'une extrémité de pointe de la sonde à partir d'une surface de référence servant de référence pour la hauteur de la caméra de détection de position de sonde 18 ; et d'un premier mécanisme de réglage de hauteur 21 qui modifie la hauteur de la caméra de détection de position de sonde 18 à partir de la surface de référence sur la base du résultat de la détection par le détecteur de hauteur de sonde 20.