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1. (WO2017170374) DISPOSITIF DE CHAUFFAGE DE MANDRIN ÉLECTROSTATIQUE
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N° de publication : WO/2017/170374 N° de la demande internationale : PCT/JP2017/012345
Date de publication : 05.10.2017 Date de dépôt international : 27.03.2017
CIB :
H01L 21/683 (2006.01)
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
L
DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21
Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
67
Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
683
pour le maintien ou la préhension
Déposants :
日本碍子株式会社 NGK INSULATORS, LTD. [JP/JP]; 愛知県名古屋市瑞穂区須田町2番56号 2-56, Suda-cho, Mizuho-ku, Nagoya-city, Aichi 4678530, JP
Inventeurs :
金 理俊 KIN, Rishun; JP
竹林 央史 TAKEBAYASHI, Hiroshi; JP
平田 夏樹 HIRATA, Natsuki; JP
Mandataire :
特許業務法人アイテック国際特許事務所 ITEC INTERNATIONAL PATENT FIRM; 愛知県名古屋市中区錦二丁目16番26号SC伏見ビル SC Fushimi Bldg., 16-26, Nishiki 2-chome, Naka-ku, Nagoya-shi, Aichi 4600003, JP
Données relatives à la priorité :
62/314,56429.03.2016US
Titre (EN) ELECTROSTATIC CHUCK HEATER
(FR) DISPOSITIF DE CHAUFFAGE DE MANDRIN ÉLECTROSTATIQUE
(JA) 静電チャックヒータ
Abrégé :
(EN) An electrostatic chuck heater comprises a sheet heater 30 which is disposed between an electrostatic chuck and a support base and which includes a heater wire 34 buried in a resin sheet 32. The heater wire 34 is provided in each of a number of zones Z1 of the resin sheet 32, and constituted by a copper wire which is wired so as to extend throughout the zone Z1 in a single stroke fashion from one end 34a to the other end 34b.
(FR) L'invention concerne un dispositif de chauffage de mandrin électrostatique qui comprend une feuille chauffante (30) qui est disposée entre un mandrin électrostatique et une base de support et qui comprend un fil chauffant (34) noyé dans une feuille de résine (32). Le fil chauffant (34) est disposé dans chaque zone d'un certain nombre de zones Z1 de la feuille de résine (32), et est constitué d'un fil de cuivre qui est câblé de façon à s'étendre dans toute la zone Z1 d'un seul trait d'une extrémité (34a) à l'autre extrémité (34b).
(JA) 静電チャックヒータは、静電チャックと支持台との間に、樹脂シート32にヒータ線34が埋設されたシートヒータ30が配置されたものである。ヒータ線34は、樹脂シート32の多数のゾーンZ1ごとに設けられ、一端34aから他端34bまで一筆書きの要領でゾーンZ1の全体に行き渡るように配線された銅線によって構成されている。
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Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)