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1. (WO2017170249) COMPOSITION DE RÉSINE PHOTOSENSIBLE

Pub. No.:    WO/2017/170249    International Application No.:    PCT/JP2017/012086
Publication Date: Fri Oct 06 01:59:59 CEST 2017 International Filing Date: Sat Mar 25 00:59:59 CET 2017
IPC: G03F 7/075
G03F 7/027
G03F 7/037
G03F 7/20
C08G 77/26
Applicants: TORAY INDUSTRIES, INC.
東レ株式会社
Inventors: KIUCHI, Yohei
木内洋平
SHOJI, Yu
荘司優
ISOBE, Kimio
磯部王郎
Title: COMPOSITION DE RÉSINE PHOTOSENSIBLE
Abstract:
L'invention concerne une composition de résine photosensible qui a une excellente résistance aux produits chimiques et d'excellentes propriétés d'isolation électrique, et qui permet l'obtention d'un motif en relief durci qui a une forme en section transversale effilée vers l'avant après durcissement. La présente invention concerne une composition de résine photosensible qui contient : une résine soluble en milieu alcalin (A) qui contient une ou plusieurs substances choisies parmi des polyimides, des précurseurs de polyimides, des polybenzoxazoles et des précurseurs de polybenzoxazoles ; et un composé contenant un groupe (méth)acrylique (B). Le composé contenant un groupe (méth)acrylique (B) contient un produit de condensation de silane contenant un groupe (méth)acrylique polyfonctionnel (B1) qui est un produit de condensation d'un composé qui a une structure représentée par la formule générale (1) et une ou plusieurs structures choisies parmi une structure de formule générale (2-1), une structure de formule générale (2-2) et une structure de formule générale (2-3), et qui contient une pluralité de structures de formule générale (1) ; et le poids moléculaire moyen en poids du composé (B1) est compris entre 1 000 et 20 000. (Dans la formule générale (1), R1 représente un atome d'hydrogène ou un groupe méthyle ; m représente un entier dans la plage de 1 ≤ m ≤ 4 ; et * représente un site de liaison. Dans les formules générales (2-1), (2-2) et (2-3), R2 représente un groupe méthyle ou un groupe éthyle ; n représente un entier dans la plage de 1 ≤ n ≤ 4 ; et * représente un site de liaison.)