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1. (WO2017170191) APPAREIL DE TRANSPORT, APPAREIL DE NETTOYAGE ET PROCÉDÉ DE TRANSPORT DE SUBSTRAT

Pub. No.:    WO/2017/170191    International Application No.:    PCT/JP2017/011928
Publication Date: Fri Oct 06 01:59:59 CEST 2017 International Filing Date: Sat Mar 25 00:59:59 CET 2017
IPC: H01L 21/677
B65G 49/07
Applicants: EBARA CORPORATION
株式会社荏原製作所
Inventors: ISOKAWA Hidetatsu
磯川 英立
Title: APPAREIL DE TRANSPORT, APPAREIL DE NETTOYAGE ET PROCÉDÉ DE TRANSPORT DE SUBSTRAT
Abstract:
L'invention concerne un appareil de transport qui comporte : un mécanisme de préhension de substrat configuré pour saisir des substrats; et un mécanisme de transport pour transporter le mécanisme de préhension de substrat de façon à transporter séquentiellement les substrats parmi au moins trois modules de nettoyage. Une fois que les substrats ont été introduits dans l'un quelconque des modules de nettoyage depuis le mécanisme de préhension de substrat, lorsqu'un premier module de nettoyage parmi les trois ou plus de trois modules de nettoyage est actuellement impliqué dans le nettoyage d'un premier substrat et qu'un second module de nettoyage non continu dans l'ordre de transport depuis le premier module de nettoyage est actuellement impliqué dans le nettoyage d'un second substrat, le mécanisme de transport fait que le mécanisme de préhension de substrat va se mettre en une position de veille correspondant au quelconque module de nettoyage qui finit le nettoyage plus tôt, parmi le premier module de nettoyage et le second module de nettoyage.