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1. (WO2017170138) CIBLE DE PULVÉRISATION CATHODIQUE EN MATÉRIAU FERROMAGNÉTIQUE

Pub. No.:    WO/2017/170138    International Application No.:    PCT/JP2017/011767
Publication Date: Fri Oct 06 01:59:59 CEST 2017 International Filing Date: Fri Mar 24 00:59:59 CET 2017
IPC: C23C 14/34
C22C 19/07
Applicants: JX NIPPON MINING & METALS CORPORATION
JX金属株式会社
Inventors: FURUYA Yuki
古谷 祐樹
Title: CIBLE DE PULVÉRISATION CATHODIQUE EN MATÉRIAU FERROMAGNÉTIQUE
Abstract:
L'invention a pour objet une cible de pulvérisation cathodique en matériau ferromagnétique de type à dispersion de particules d'oxyde, ayant une structure fine ce qui permet de réduire efficacement la production de particules ou une décharge anormale provoquées par des particules d'oxyde. À cet effet, l'invention porte sur une cible de pulvérisation cathodique de type comprimé fritté comprenant 0 % en mole à 45 % en mole de Pt sous forme d'un métal ou d'un alliage, 55 % en mole à 95 % en mole de Co et 0 % en mole à 40 % en mole de Cr et comprenant en outre au moins deux types d'oxydes, la cible de pulvérisation cathodique de type comprimé fritté étant conçue de manière à ce que des oxydes soient présents dans un métal ou un alliage et l'écart-type de la densité en nombre des oxydes soit inférieur ou égal à 2,5.