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1. (WO2017170125) PROCÉDÉ DE FABRICATION DE SUBSTRATS À FILM CONDUCTEUR TRANSPARENT, APPAREIL DE FABRICATION DE SUBSTRATS À FILM CONDUCTEUR TRANSPARENT, SUBSTRAT À FILM CONDUCTEUR TRANSPARENT, ET CELLULE SOLAIRE

Pub. No.:    WO/2017/170125    International Application No.:    PCT/JP2017/011724
Publication Date: Fri Oct 06 01:59:59 CEST 2017 International Filing Date: Fri Mar 24 00:59:59 CET 2017
IPC: C23C 14/34
C23C 14/08
C23C 16/24
H01L 31/0224
Applicants: ULVAC, INC.
株式会社アルバック
Inventors: MATSUZAKI Junsuke
松崎 淳介
TAKAHASHI Hirohisa
高橋 明久
Title: PROCÉDÉ DE FABRICATION DE SUBSTRATS À FILM CONDUCTEUR TRANSPARENT, APPAREIL DE FABRICATION DE SUBSTRATS À FILM CONDUCTEUR TRANSPARENT, SUBSTRAT À FILM CONDUCTEUR TRANSPARENT, ET CELLULE SOLAIRE
Abstract:
Cette invention concerne un procédé de fabrication de substrats avec un film conducteur transparent, qui forme un film conducteur transparent sur un film a-Si par : la préparation d'un substrat qui présente une surface avant et une surface arrière et qui possède un film a-Si recouvrant la surface avant et/ou la surface arrière ; dans un espace de formation de film avec un gaz de traitement contenant de l'hydrogène, le réglage de la plage de température du substrat et du film a-Si à 70-220 [°C] ; et l'application d'une tension de pulvérisation sur une cible pour effectuer une pulvérisation à courant continu.