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1. (WO2017170059) APPAREIL DE DÉPÔT EN PHASE VAPEUR, PROCÉDÉ DE DÉPÔT EN PHASE VAPEUR, ET PROCÉDÉ DE PRODUCTION D'UN DISPOSITIF D'AFFICHAGE ÉLECTROLUMINESCENT ORGANIQUE

Pub. No.:    WO/2017/170059    International Application No.:    PCT/JP2017/011521
Publication Date: Fri Oct 06 01:59:59 CEST 2017 International Filing Date: Thu Mar 23 00:59:59 CET 2017
IPC: C23C 14/24
C23C 14/04
H01L 51/50
H05B 33/10
Applicants: SHARP KABUSHIKI KAISHA
シャープ株式会社
Inventors: INOUE, Satoshi
井上 智
KAWATO, Shinichi
川戸 伸一
KOBAYASHI, Yuhki
小林 勇毅
Title: APPAREIL DE DÉPÔT EN PHASE VAPEUR, PROCÉDÉ DE DÉPÔT EN PHASE VAPEUR, ET PROCÉDÉ DE PRODUCTION D'UN DISPOSITIF D'AFFICHAGE ÉLECTROLUMINESCENT ORGANIQUE
Abstract:
L'invention concerne un appareil de dépôt en phase vapeur pouvant empêcher l'apparition de taches relativement grandes non intentionnelles à la conception. Dans cet appareil de dépôt en phase vapeur (1), un évidement (3U) est ménagé dans un sens de balayage de substrat d'une zone séparant deux orifices d'injection adjacents (4) situés sur un côté plaque de limitation (59) d'une plaque supérieure (3f).