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1. (WO2017170032) PELLICULE PHOTOSENSIBLE

Pub. No.:    WO/2017/170032    International Application No.:    PCT/JP2017/011435
Publication Date: Fri Oct 06 01:59:59 CEST 2017 International Filing Date: Thu Mar 23 00:59:59 CET 2017
IPC: G03F 7/023
C08F 8/28
C08F 12/22
C08G 73/10
G03F 7/004
G03F 7/20
Applicants: TORAY INDUSTRIES, INC.
東レ株式会社
Inventors: IKEDA, Yoshifumi
池田芳史
KOYAMA, Yutaro
小山祐太朗
Title: PELLICULE PHOTOSENSIBLE
Abstract:
L’invention concerne une pellicule photosensible qui peut produire une pellicule traitée thermiquement présentant une haute résistance à la chaleur, et qui montre une bonne capacité de traitement de motif (haute sensibilité) et qui présente simultanément une bonne adhésion à un substrat, c.-à-d. de bonnes propriétés de stratification. Cette pellicule photosensible contient : une résine soluble dans un alcalin (A1) dont une unité structurelle est représentée par la formule générale (1) ; une résine soluble dans un alcalin (A2) qui comprend au moins un organe sélectionné parmi les polyimides, les polybenzooxazoles, les imides de polyamide, leurs précurseurs, et leurs copolymères ; un générateur photoacide (B) ; et un agent réticulant thermique (C). (Dans la formule générale (1), R1 représente un atome d’hydrogène ou un groupe alkyle comportant 1 à 5 atomes de carbone ; a représente un entier compris entre 0 et 4, et b représente un entier compris entre 1 et 3 ; et R2 représente un atome d’hydrogène, un groupe méthyle, un groupe éthyle, ou un groupe propyle.)