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1. (WO2017169847) ORIFICE DE CHARGEMENT
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N° de publication : WO/2017/169847 N° de la demande internationale : PCT/JP2017/010657
Date de publication : 05.10.2017 Date de dépôt international : 16.03.2017
CIB :
H01L 21/677 (2006.01) ,H01L 21/673 (2006.01)
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
L
DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21
Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
67
Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
677
pour le transport, p.ex. entre différents postes de travail
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
L
DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21
Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
67
Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
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utilisant des supports spécialement adaptés
Déposants :
シンフォニアテクノロジー株式会社 SINFONIA TECHNOLOGY CO., LTD. [JP/JP]; 東京都港区芝大門一丁目1番30号 1-30, Shibadaimon 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058564, JP
Inventeurs :
三浦 辰弥 MIURA, Tatsuya; JP
小倉 源五郎 OGURA, Gengoro; JP
重田 貴司 SHIGETA, Takashi; JP
小笠原 幸雄 OGASAWARA, Yukio; JP
河合 俊宏 KAWAI, Toshihiro; JP
谷山 育志 TANIYAMA, Yasushi; JP
Mandataire :
特許業務法人梶・須原特許事務所 KAJI, SUHARA & ASSOCIATES; 大阪府大阪市淀川区西中島5-14-22 リクルート新大阪ビル Recruit Shin Osaka BLDG., 5-14-22, Nishinakajima, Yodogawa-ku, Osaka-shi, Osaka 5320011, JP
Données relatives à la priorité :
2016-06608429.03.2016JP
Titre (EN) LOAD PORT
(FR) ORIFICE DE CHARGEMENT
(JA) ロードポート
Abrégé :
(EN) Provided is a load port which, when a front-opening unified pod (FOUP) is moved toward a door, makes it possible to prevent the FOUP and the door to contact each other, thereby preventing the removal of seal between the load port and the FOUP or the door. Accordingly, the load port is provided with: a base 21; an opening portion 42; a door 51; a first seal member 43 which seals a gap between the base 21 and a container 7; and a second seal member 44 which seals a gap between the base 21 and the door 51. After the container 7 is mounted on a mounting base 24 for mounting the container 7, the door 51 abuts on the second seal member 44. Moreover, the door 51 is caused to withdraw in a direction opposite to the container 7 from an initial position in which an end surface of the door 51 on the container 7 side is closer to the container 7 than an abutting surface between the door 51 and the second seal member 44.
(FR) L'invention concerne un orifice de chargement qui, lorsqu'une nacelle unifiée à ouverture frontale (FOUP) est déplacée vers une porte, permet d'empêcher la FOUP et la porte d'entrer en contact l'une avec l'autre, empêchant ainsi le retrait du joint d'étanchéité entre l'orifice de chargement et la FOUP ou la porte. Par conséquent, l'orifice de chargement comprend : une base (21) ; une portion d'ouverture (42) ; une porte (51) ; un premier élément d'étanchéité (43) qui scelle un espace entre la base (21) et un conteneur (7) ; et un deuxième élément d'étanchéité (44) qui scelle un espace entre la base (21) et la porte (51). Une fois que le conteneur (7) est monté sur une base de montage (24) en vue de monter le conteneur (7), la porte (51) vient en butée sur le deuxième élément d'étanchéité (44). De plus, la porte (51) est amenée à se retirer dans une direction opposée au conteneur (7) à partir d'une position initiale dans laquelle une surface d'extrémité de la porte (51) sur le côté du conteneur (7) est plus proche du conteneur (7) qu'une surface de butée entre la porte (51) et le deuxième élément d'étanchéité (44).
(JA) FOUPをドアに向かって移動させたときに、FOUPとドアとが接触するのを防止し、ロードポートと、FOUPまたはドアとのシールが解除されるのを防ぐことができるロードポートを提供する。このため、ベース21と、開口部43と、ドア51と、ベース21と容器7との間をシールする第1シール部材43と、ベース21とドア51との間をシールする第2シール部材44とを備え、容器7を載置する載置台24に容器7が載置された後、ドア51が第2シール部材44と当接し、かつドア51の容器7側の端面がドア51と第2シール部材44との当接面よりも容器7側にある初期位置から、容器7と反対方向にドア51を退避させる。
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Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)