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1. (WO2017169804) SYSTÈME DE DÉTECTION DE DYSFONCTIONNEMENT ET PANNEAU DE COMMANDE
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N° de publication : WO/2017/169804 N° de la demande internationale : PCT/JP2017/010496
Date de publication : 05.10.2017 Date de dépôt international : 15.03.2017
CIB :
C23C 16/52 (2006.01) ,G05B 23/02 (2006.01) ,H01L 21/205 (2006.01)
C CHIMIE; MÉTALLURGIE
23
REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX AVEC DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; TRAITEMENT CHIMIQUE DE SURFACE; TRAITEMENT DE DIFFUSION DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT PAR ÉVAPORATION SOUS VIDE, PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE, PAR IMPLANTATION D'IONS OU PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, EN GÉNÉRAL; MOYENS POUR EMPÊCHER LA CORROSION DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES, L'ENTARTRAGE OU LES INCRUSTATIONS, EN GÉNÉRAL
C
REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX AVEC DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; TRAITEMENT DE SURFACE DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES PAR DIFFUSION DANS LA SURFACE, PAR CONVERSION CHIMIQUE OU SUBSTITUTION; REVÊTEMENT PAR ÉVAPORATION SOUS VIDE, PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE, PAR IMPLANTATION D'IONS OU PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, EN GÉNÉRAL
16
Revêtement chimique par décomposition de composés gazeux, ne laissant pas de produits de réaction du matériau de la surface dans le revêtement, c. à d. procédés de dépôt chimique en phase vapeur (CVD)
44
caractérisé par le procédé de revêtement
52
Commande ou régulation du processus de dépôt
G PHYSIQUE
05
COMMANDE; RÉGULATION
B
SYSTÈMES DE COMMANDE OU DE RÉGULATION EN GÉNÉRAL; ÉLÉMENTS FONCTIONNELS DE TELS SYSTÈMES; DISPOSITIFS DE CONTRÔLE OU D'ESSAIS DE TELS SYSTÈMES OU ÉLÉMENTS
23
Essai ou contrôle des systèmes de commande ou de leurs éléments
02
Essai ou contrôle électrique
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
L
DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21
Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
02
Fabrication ou traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou de leurs parties constitutives
04
les dispositifs présentant au moins une barrière de potentiel ou une barrière de surface, p.ex. une jonction PN, une région d'appauvrissement, ou une région de concentration de porteurs de charges
18
les dispositifs ayant des corps semi-conducteurs comprenant des éléments du quatrième groupe de la Classification Périodique, ou des composés AIIIBV, avec ou sans impuretés, p.ex. des matériaux de dopage
20
Dépôt de matériaux semi-conducteurs sur un substrat, p.ex. croissance épitaxiale
205
en utilisant la réduction ou la décomposition d'un composé gazeux donnant un condensat solide, c. à d. un dépôt chimique
Déposants :
東京エレクトロン株式会社 TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 東京都港区赤坂五丁目3番1号 3-1, Akasaka 5-Chome, Minato-Ku, Tokyo 1076325, JP
Inventeurs :
廣瀬 勝人 HIROSE, Katsuhito; JP
長谷川 敏夫 HASEGAWA, Toshio; JP
吉田 昌平 YOSHIDA, Shohei; JP
篠原 猛 SHINOHARA, Takeshi; JP
川崎 真司 KAWASAKI, Shinji; JP
Mandataire :
伊東 忠重 ITOH, Tadashige; JP
伊東 忠彦 ITOH, Tadahiko; JP
Données relatives à la priorité :
2016-06605229.03.2016JP
Titre (EN) MALFUNCTION DETECTION SYSTEM AND CONTROL BOARD
(FR) SYSTÈME DE DÉTECTION DE DYSFONCTIONNEMENT ET PANNEAU DE COMMANDE
(JA) 異常検知システム及び制御ボード
Abrégé :
(EN) Provided is a malfunction detection system, which comprises a first controller for controlling a substrate-processing device and a second controller for controlling units provided in the substrate-processing device according to instructions from the first controller and which is for detecting malfunctions of the units, wherein: the second controller has a storage unit for collecting condition signals for the units at a specified time in a specified cycle at a specified sampling interval and accumulating the collected condition signals for said units; and the first controller has a malfunction-assessing unit for acquiring the accumulated condition signals for the units from the second controller at a time interval of at least the specified time and, on the basis of the acquired condition signals for the units, assessing whether or not there is a malfunction of the units.
(FR) L'invention concerne un système de détection de dysfonctionnement, qui comprend un premier module de commande pour commander un dispositif de traitement de substrat et un second module de commande pour commander des unités situées dans le dispositif de traitement de substrat conformément à des instructions provenant du premier module de commande, ledit système étant destiné à détecter des dysfonctionnements des unités. Le second module de commande comporte une unité de stockage pour collecter des signaux d'état des unités à un moment spécifié dans un cycle spécifié, à un intervalle d'échantillonnage spécifié, et accumuler les signaux d'état collectés pour lesdites unités; et le premier module de commande comporte une unité d'évaluation de dysfonctionnement chargée d'acquérir les signaux d'état accumulés pour les unités à partir du second dispositif de commande à un intervalle de temps d'au moins le temps spécifié et, sur la base des signaux d'état acquis pour les unités, d'évaluer s'il existe ou non un dysfonctionnement des unités.
(JA) 基板処理装置を制御する第1のコントローラと、該第1のコントローラの指示に従い、前記基板処理装置に設けられた機器を制御する第2のコントローラとを有し、前記機器の異常を検知する異常検知システムであって、前記第2のコントローラは、前記機器の状態信号を、所定の周期における所定時間、所定のサンプリング間隔で収集し、収集した該機器の状態信号を蓄積する記憶部を有し、前記第1のコントローラは、蓄積した前記機器の状態信号を、前記所定時間以上の時間間隔で前記第2のコントローラから取得し、取得した前記機器の状態信号に基づき、前記機器の異常の有無を判定する異常判定部とを有する、異常検知システムが提供される。
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États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)