Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales

1. (WO2017169761) CARTE DE CÂBLAGE ET CARTE DE SONDE LA COMPRENANT

Pub. No.:    WO/2017/169761    International Application No.:    PCT/JP2017/010317
Publication Date: Fri Oct 06 01:59:59 CEST 2017 International Filing Date: Thu Mar 16 00:59:59 CET 2017
IPC: H05K 1/02
G01R 1/073
H01L 21/66
H05K 3/24
Applicants: MURATA MANUFACTURING CO., LTD.
株式会社村田製作所
Inventors: HATASE, Minoru
畑瀬 稔
MIZUSHIRO, Masaaki
水白 雅章
Title: CARTE DE CÂBLAGE ET CARTE DE SONDE LA COMPRENANT
Abstract:
Le but de l'invention est d'améliorer la précision de mesure au moment d'une mesure non destructive, dans une carte de câblage ayant une électrode constituée d'une pluralité de couches de placage, de l'épaisseur de chaque couche de placage de l'électrode à l'aide d'un dispositif de mesure d'épaisseur de film à rayons X fluorescent. Cette carte de câblage 1 comprend une électrode 3 formée sur une surface principale 2a d'un substrat central 2. L'électrode 3 est formée par stratification séquentielle d'une couche de placage de Cu 3a, d'une couche de placage de Ni 3b et d'une couche de placage de Au 3c. Un évidement 5 est formé dans la couche de placage Au 3c. Le fond et les surfaces latérales de l'évidement 5 et la surface de l'électrode 3 sont recouverts par un film d'Au 3d formé par un placage Au ayant une qualité de film différente de celle de la couche de placage Au 3c. En émettant des rayons X depuis le fond de l'évidement 5, il est possible d'améliorer la précision de mesure de l'épaisseur de la couche de placage de Cu 3a et de la couche de placage de Ni 3c qui sont sur le côté de la couche interne de l'électrode 3.